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  • PRECESS普瑞赛思高真空保护闸阀
    PRECESS普瑞赛思高真空保护闸阀

    PRECESS普瑞赛思高真空保护闸阀(V60系列)已经在各种工艺条件下安装在数百种要求苛刻的应用中,证明了其出色的可靠性。它们已成为DN 63-320 mm尺寸的任何高压隔离要求的标准。

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  • PRECESS普瑞赛思高真空闸阀
    PRECESS普瑞赛思高真空闸阀

    PRECESS普瑞赛思高真空闸阀(V21带保温套)配备了VATLOCK技术,该技术是专门开发的,可在闸门密封处提供可靠的密封而不会产生任何摩擦。VATLOCK机构还可以防止阀门故障,这要归功于关闭端位...

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  • PRECESS普瑞赛思高真空闸阀
    PRECESS普瑞赛思高真空闸阀

    PRECESS普瑞赛思高真空闸阀(V21系列3位)通用于研究和工业中的超高真空隔离应用。特别适用于泵的隔离。

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  • PRECESS普瑞赛思高真空闸阀
    PRECESS普瑞赛思高真空闸阀

    PRECESS普瑞赛思高真空闸阀(V21系列)配备了VATLOCK技术,该技术是专门为提供可靠的密封而开发的,在闸门密封处没有任何摩擦。VATLOCK机构还可以防止阀门故障,这要归功于关闭端位置的机械...

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  • PRECESS普瑞赛思精密真空闸阀
    PRECESS普瑞赛思精密真空闸阀

    PRECESS普瑞赛思精密真空闸阀(V20系列)配备了VATLOCK技术,该技术是专门为提供可靠的密封而开发的,不会产生任何摩擦,从而避免了颗粒的产生。

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  • PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀
    PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀

    PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀(V78系列)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞赛思双层真空传输阀
    PRECESS普瑞赛思双层真空传输阀

    PRECESS普瑞赛思双层真空传输阀(V73系列)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞赛思全加热型真空传输阀
    PRECESS普瑞赛思全加热型真空传输阀

    PRECESS普瑞赛思全加热型真空传输阀(V72系列)适用于半导体制造(SEMI)生产系统中装载锁定室与工艺腔室之间的隔离。适合诸如蚀刻或化学气相沉积等腐蚀性工艺。

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  • PRECESS普瑞赛思真空传输阀
    PRECESS普瑞赛思真空传输阀

    PRECESS普瑞赛思真空传输阀(V70系列L型四开口)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞赛思真空传输阀
    PRECESS普瑞赛思真空传输阀

    PRECESS普瑞赛思真空传输阀(V70系列双开口)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀
    PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀

    PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀(V70系列)适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或化学气相沉积(CVD),其技术采用单轴气动执行器驱动的L型运动。在L型运动中,隔板垂直移动到关闭位置——无需与阀体接触——然...

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  • PRECESS普瑞赛思真空传输门阀
    PRECESS普瑞赛思真空传输门阀

    PRECESS普瑞赛思真空传输门阀(V77系列)L-Motion密封与传输阀不同,只有一个真空室用于装载或处理。因此,门的另一侧始终处于大气压下。所有PRECESS解决方案都是针对各自的应用量身定制的...

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  • PRECESS  L-Motion 移位传输门阀
    PRECESS L-Motion 移位传输门阀

    PRECESS L-Motion 移位传输门阀适用于腐蚀工艺,如蚀刻或 CVD,通过单轴气动执行器对闸门进行 L 型运动的技术。在 L 型运动中,闸门垂直移动到接近位置 - 不与阀体有任何接触 - ...

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  • PRECESS普瑞赛思真空控制蝴蝶阀
    PRECESS普瑞赛思真空控制蝴蝶阀

    PRECESS普瑞赛思真空控制蝴蝶阀(AB系列)提供压力控制性能。凭借其快速而精确的运动控制器(0.1s),它是在PVD,CVD,Etch和Ald等各种过程中进行压力控制的理想解决方案。板充当节流元件...

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