HTC日扬连杆式手动插板阀

HTC日扬连杆式手动插板阀（GVB-SS-CF）

产品特点

1. 金属密封 + 波纹管动密封：阀盖采用金属密封圈密封，主轴焊接波纹管密封，无填料、无润滑，实现真正超高真空，放气率低，可烘烤处理。

2. 连杆式传动结构：连杆机构驱动阀板，开关动作稳定可靠，阀板受力均匀，密封重复性好。

3. 标准 CF 超高真空法兰接口，兼容行业通用 CF 法兰标准，安装互换性强。

4. 手动驱动操作，操作简便，自带开关位置直观指示；按规定螺栓扭矩紧固，保障法兰密封性能。

5. 全不锈钢阀体，刚性强，抗腐蚀，适配洁净真空、非腐蚀性工艺气体环境。

6. 小型紧凑体积，占用空间小，适合设备内部狭小空间布局。

行业应用

· 科研院所：同步辐射、电子束设备、实验室超高真空腔体、束线系统；

· 真空镀膜：PVD、电子束蒸发、磁控溅射超高真空管路通断；

· 半导体设备：超高真空工艺管路、样品传输系统；

· 分析仪器：电子显微镜、表面分析设备真空管路隔断；

· 航天、检漏设备、氦检系统超高真空回路开关。

HTC日扬连杆式手动插板阀（GVB-SS-CF）

型号规格参数表

外形尺寸参数（单位：mm）

重要提示：CF 法兰螺栓必须严格按照上表扭矩紧固，保证金属密封的漏率性能。

通用性能要点（UHV 超高真空关键参数）