超高真空全金属插板阀 | 为大科学装置研究而生

HTC 日扬科技自研全金属插板阀适配超高真空工况（真空度 10⁻⁸Pa～10⁻⁹Pa），采用自研 HTC Disc 金属密封技术，工作压力区间覆盖 UHV～1.2bar (abs)，最小泄漏率可达<1×10⁻¹⁰ mbar·L/s，密封性能稳定可靠。 产品按启闭结构分为手动式、气动式两类；支持选配 shielding 射频屏蔽功能，耐温区间 150℃~250℃。产品已批量落地国内大科学装置研究、表面分析、半导体制造项目，多台设备装机实测，产品稳定性得到行业验证。

一、产品核心优势

· 启闭动作平稳，可实现管路超高真空可靠隔离

· 全金属无弹性体结构，耐极限高低温、抗电离辐射

· 可选配 RF/waveguide shielding 射频屏蔽模块

· 可作为微波传输管路专用隔离阀使用

二、主流型号规格：CF35、CF63、DF78

全金属插板阀大量应用于高能物理实验室场景，设备运行时需要阻断射频信号外泄 / 外界信号干扰，保障粒子束传输稳定，因此阀体制备支持射频屏蔽定制。 评判高性能全金属插板阀核心指标：极低漏率、耐高温、高洁净度、抗辐射、长使用寿命、运行稳定。 日扬科技自主完成 CF35、CF63、DF78 全金属插板阀研发量产，是国内少数实现该类真空阀门核心技术自主突破的厂商。 产品全部在 Class6 千级无尘室完成生产装配，洁净度满足超高真空严苛要求。

三、落地应用案例

2020 年，日扬科技与 SHINE 项目达成合作，配套国内硬 X 射线自由电子激光装置项目，攻克全金属插板阀金属硬密封、高精度定位两大关键技术难点，样机顺利交付投产。 该款带射频屏蔽功能的全金属门阀装配于超导加速器电子束流通道，长期运行在超高真空、超洁净、液氦低温、射频场、电离辐射叠加的复杂工况。 项目落地后，团队持续迭代优化 CF35、CF63 标准尺寸阀门性能；其余非标尺寸同步开发迭代，持续优化各项性能参数，实现真空阀门国产替代，为国内大科学装置研发配套提供国产化解决方案。

四、主流产品实拍型号说明

1. CF35 RF 气动全金属插板阀

2. CF63 气动全金属插板阀