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MKS高性能质量流量计(P4B)结合了数字流量计电子技术和一个经过充分验证的、热传感器和机械设计。
MKS质量流量计(P9B)带集成压力传感器采用新的电子技术,能够满足zui苛刻的工艺气体流量测量要求。
MKS金属密封式质量流量计(GM50A)是通用型金属密封式质量流量计(MFM),适用于需要从5标准立方厘米每分钟(sccm)到50标准升每分钟(slm)全量程的广泛应用场合,等效于氮气(N2)。
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