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产品简介
MKS金属密封式质量流量计（GM50A）是通用型金属密封式质量流量计（MFM），适用于需要从5标准立方厘米每分钟（sccm）到50标准升每分钟（slm）全量程的广泛应用场合，等效于氮气（N2）。
| 品牌 | MKS/美国 | 价格区间 | 1万-3万 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 生物产业,能源,制药/生物制药,汽车及零部件 |
MKS金属密封式质量流量计（GM50A）
GM50A和GM51A是通用型金属密封式质量流量计（MFM），适用于需要从5标准立方厘米每分钟（sccm）到50标准升每分钟（slm）全量程的广泛应用场合，等效于氮气（N2）。这些仪表采用了数字流量计电子技术和经过验证的、热传感器及机械设计。
GM50A 宽 1.45 英寸。
GM51A 宽 1.25 英寸。
l嵌入式用户界面可轻松更改范围和气体，减少所需库存
l就地监控和收集设备数据
l16微英寸316L表面处理，适用于高纯度应用
l广泛的数字或模拟I/O选择
多气体/多量程能力
多气体/多量程功能，以及对准确度的严格性能规范，使用户能够最小化高流量MFM部件编号的库存。多气体/多量程功能（以及其他自定义控制）是通过MFM嵌入式诊断接口访问的，该接口不需要特殊的软件或硬件即可操作。标准以太网电缆和广泛可用的JAVA启用HTML浏览器就是所需的所有工具。典型高流量气体的气体关键参数已经存储在设备上。配置设备只是从下拉菜单中选择气体并指定所需的满量程流量范围。诊断接口还允许用户执行常规设备健康检查，绘制流量图，并存储操作数据以进行离线分析。
MKS金属密封式质量流量计（GM50A）
技术参数
类型 | 质量流量计 (MFM) | 零温度系数 | <0.05% 全量程/°C |
流量量程范围 | 5-50000 sccm (等效N2) | 张力温度系数 | <0.08% 每度摄氏度读数 |
测量范围 | 0.1%到100%的满量程（机构上的范围） | 入口压力系数 | <0.02% 的阅读/psi |
配合类型 | Swagelok® 4 VCR® 阳螺纹, 0.25 英寸 | 热身时间 | 30分钟（达到稳态性能的0.2%范围内） |
工作温度 | 10-50°C | ||
储存湿度 | 0到95%相对湿度，不冷凝 | ||
外部泄露密封性 | <1 x 10-10 (标准立方厘米/秒 氦气) | ||
潮湿材料 | 316L不锈钢 VAR（等同于半导体质量的316不锈钢SCQ） | ||
表面粗糙度 | 16微英寸平均粗糙度 | ||
流量输入输出信号 | 电压 (0到5 VDC) | 电源要求 | +15至+24VDC（<2W） |
模拟连接器 | 15针D型公头 | 重量 | <2.5 磅（1.1 公斤） |
合规 | CE | ||
zui大入口压力 | 500 psi | 证明压力 | 1000 psig |
爆破压力 | 1500 psig | 典型精度 | 读数的±1% |
重复性 | 读数的±0.3% | 分辨率 | 满量程的0.1% |
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