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电容薄膜真空计选型指南
MKS冷阴极真空计(971B)提供测量范围从 1x10-8Torr到 5x10-3Torr,基于冷阴极反向磁控管传感器技术。971B是一种用于基压测量和控制的经济有效的解决方案。
MKS Mini-Convectron® 模块化真空计(275)具有紧凑的设计,并显著降低了安装成本。这些Granville-Phillips® 真空计在控制器尺寸和现场控制要求高的应用中非常理想。
MKS微型皮拉尼真空计(925)是一种基于独特 MEMS(微电子机械系统)真空传感器的热导真空计。
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