MKS冷阴极真空计（971B）提供测量范围从 1x10-8Torr到 5x10-3Torr，基于冷阴极反向磁控管传感器技术。971B是一种用于基压测量和控制的经济有效的解决方案。

MKS Mini-Convectron® 模块化真空计（275）具有紧凑的设计，并显著降低了安装成本。这些Granville-Phillips® 真空计在控制器尺寸和现场控制要求高的应用中非常理想。

MKS微型皮拉尼真空计（925）是一种基于独特 MEMS（微电子机械系统）真空传感器的热导真空计。