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产品简介
MKS冷阴极真空计（971B）提供测量范围从 1x10-8 Torr到 5x10-3Torr，基于冷阴极反向磁控管传感器技术。971B是一种用于基压测量和控制的经济有效的解决方案。
| 品牌 | MKS/美国 | 价格区间 | 1万-2万 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 生物产业,能源,制药/生物制药,汽车及零部件 |
MKS冷阴极真空计（971B）
971B UniMag™ 真空传感器提供测量范围从 1x10-8 Torr到 5x10-3Torr，基于冷阴极反向磁控管传感器技术。971B是一种用于基压测量和控制的经济有效的解决方案。除了其小尺寸、宽范围和低成本之外，971 UniMag™ 冷阴极反向磁控管传感器真空计可以通过数字通信操作，也可以作为自主模拟单元操作。970B 系列传感器具有标准的 15 针 HD Sub-D 连接器。
l绝dui测量范围从 1x10-8 到 0.005 Torr
l冷阴极阳极模块设计是可维护的，以减少停机时间。
l操作简便，可通过模拟输出、RS232或RS485进行控制
l可选的集成触摸屏显示用于当地压力指示
l三个用户可配置的继电器用于过程控制
l紧凑型设计提供了紧凑型换能器解决方案
MKS冷阴极真空计（971B）
技术参数
绝dui测量范围 | 1 x 10-8 Torr到5 x 10-3 Torr | 数字通信 | RS485 或 RS232 |
类型 | 真空传感器 | 传感器 | 冷阴极 |
显示 | 触摸屏（可选） | 密封材料 | 氟橡胶 |
附件 | 标准或IP56 | 电气连接器 | 15针，高密度，D-sub 公头 |
继电器 | 0 或 3 | 安装方向 | 任何 |
设定点范围 | 1 x 10-8 Torr到5 x 10-3 Torr | 校准气体 | 氮 |
工作温度 | 0-40°C (32-104°F) | 最gao烘烤温度 | 85°C (185°F) |
数字控制 | 压力单位，波特率，地址，工厂默认，用户标签，RS485测试，气体修正；设定点功能：值，滞后，方向，高压启用，保护，控制设定点，气体类型 | 数字状态 | 压力读数和单位，设定点，传感器温度，用户标签，型号，设备类型，序列号，固件和硬件版本 |
模拟输出 | 0.5 VDC per decade | 继电器触点额定值 | 1 A @ 30VAC/DC，电阻性 |
电源要求 | 9-30 Vdc，2 瓦 | 准确性 | 5 x 10-8 Torr至10-3 ± 30% 的读数 |
重复性 | 5 x 10-8 Torr至10-3 ± 30%的读数 | 超压限制 | 1500Torr |
内部容积 | 21 cc | 暴露材料 |
|
电子外壳和法兰 | 304不锈钢 | 重量 | 12.7盎司（360克） |
合规 | CE |
功能
数字通信
970B系列真空传感器具有RS232、RS485和EtherCAT（仅972B）数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。数字接口可用于控制压力单元、波特率、地址、工厂默认设置、用户标签、RS485测试、气体校正；设定点功能：值、滞后、方向、HV启用、保护、控制设定点和气体类型。
0.5 VDC per decade模拟输出
所有970B系列传感器都有0.5 VDC per decade的模拟压力输出，可以与外部模拟设备连接以进行压力读取或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。它可以模拟多种其他真空传感器的模拟电压输出。模拟功能可以在OEM应用中升级和替换其他供应商的仪表而无需更改系统软件。
可选集成触摸屏显示
可选的集成触摸屏显示器可以由用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并且可以访问设定点参数以及气体类型。该显示器还显示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上，可以从5米外清楚地看到单个传感器的压力读数或组合读数。
过程控制继电器
970B 系列具有最多三个机械SPST继电器，可用于过程控制，例如联锁阀或泵。继电器触点的额定值为30 VAC或VDC，电阻性负载为1安培。
传感器和转换器的测量范围。从上到下：971B、972B 和 974B
970B系列传感器是为在大气压到10-8托耳压力范围内运行的真空用户提供紧凑且低成本的测量解决方案。970B系列传感器的小尺寸使其成为系统集成商的理想选择，可以减少占用空间并实现微型化。
应用包括：
l分析设备（质谱仪控制）
l扫描电子显微镜
l涂层系统
l半导体装载锁压力控制
l通用真空基压测量
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