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产品简介
MKS高性能质量流量计（P4B）结合了数字流量计电子技术和一个经过充分验证的、热传感器和机械设计。
| 品牌 | MKS/美国 | 价格区间 | 1万-3万 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 生物产业,能源,制药/生物制药,汽车及零部件 |
MKS高性能质量流量计（P4B）
P4B 是一个 1.125 英寸的机壳，多气体/多量程，金属密封的流量计 (MFM)。P4B 仪表结合了数字流量计电子技术和一个经过充分验证的、热传感器和机械设计。数字电子设备采用MKS算法，提供多气体/多量程测量能力。包括数字校准，校准气体的准确度为读数的 1%。
l严格控制流程气体的流量精度以改进腔室工艺匹配
l嵌入式配置和诊断软件，允许用户在不从工具中移除设备的情况下检查MFM功能。
MKS高性能质量流量计（P4B）
技术参数
类型 | 质量流量计 | 全量程流量范围 | 5-50000 sccm |
测量范围 | 0.1-100% 的满量程（机构上的范围） | 最da入口压力 | 500 psig |
证明压力 | 1000 psig | 爆破压力 | 1500 psig |
典型精度 | 设定点的±1% 适用于 20-100% 满量程 | 重复性 | ±0.3% 的读数 |
分辨率 | 满量程的0.1% | 零温度系数 | <满量程的0.05%./°C |
张力温度系数 | <0.08% 每度 Celsius 读数 | 入口压力系数 | <0.02% 的读数/psi |
预热时间 | <30 分钟（达到稳态性能的 0.2% 以内） | 工作温度 | 10-50°C |
储存湿度 | 0-95%相对湿度，不冷凝 | 储存温度 | -20° 至 80°C (-4° 至 149° F) |
温度显示 | 0-100°C | 温度精度 | ±2°C |
温度分辨率 | 0.1°C | 显示 | 4位数字表示数值，4位字符表示单位 |
配合类型 | 兼容：Swagelok® 4 VCR®，1.125 英寸表面安装（C密封，W密封），1.5 英寸 W密封 | 外部泄露完整性 | <1 x 10-10 |
潮湿材料 | 316L不锈钢（等同于半导体质量的316不锈钢SCQ），316不锈钢 | 表面粗糙度 | 10微英寸平均粗糙度 |
重量 | <2.5 磅（1.1千克） | 合规 | CE |
电源要求 | +15 到 +24 VDC @ 最da 200mA | 模拟I/O连接器 | 15针D型公头，9针D型公头 |
流量输入输出信号 | 0到5伏直流电 | 设备网连接器 | 5针微型连接器（DeviceNet） |
RS485连接器 | 9针D型公头 |
功能
通讯选项
数字输入输出 | DeviceNet™ |
所需输入功率 | +11到+25 VDC符合DeviceNet规范 (@ <2.0 瓦) |
数据速率开关/选择 | 4 个位置：125, 250, 500K（默认），PGM（可通过网络编程） |
数据速率/网络长度 | 数据速率（用户可选） |
MAC ID 交换机/地址 | 2个开关，10个位置；0,0到6,3是硬件ID号码 |
网络规模 | zui多64个节点 |
网络拓扑结构 | 线性（主干线/分支线）电力和信号在同一条网络电缆上 |
视觉指示器 | LED网络状态（绿色/红色） |
合规性 | 欧洲共同市场 |
多气体/多量程能力
多气体/多量程功能，以及对准确度的严格性能规范，使用户能够尽量减少高流量MFM部件编号的库存。多气体/多量程功能（及其他自定义控制）是通过MFM嵌入式诊断接口访问的，该接口无需特殊软件或硬件即可操作。只需一根标准以太网电缆和一个支持JAVA的HTML浏览器（广泛可用）即可。典型高流量气体的气体关键参数已经存储在设备上。配置设备只是从下拉菜单中选择气体并指定所需的满量程流量范围。诊断接口还允许用户进行常规设备健康检查、绘制流量图并存储操作数据以供离线分析。
杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
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