技术文章

Technical articles

当前位置:首页技术文章UHV 全金属角阀 | 专为特别工况设计

UHV 全金属角阀 | 专为特别工况设计

更新时间:2026-07-20点击次数:20

HTC 日扬科技自研全金属角阀适配超高真空工况,适用真空区间 10⁻⁷ Pa10⁻¹⁰ Pa。阀体、阀芯、密封件全部为全金属结构,密封垫片采用 OFCH 无氧铜材质,可承受大幅温差变化。 全系全金属阀门历经数百种严苛工艺工况验证,拥有数千项现场装机落地案例,产品运行可靠性经过长期市场实测验证。

UHV 全金属角阀 | 专为特别工况设计


一、产品核心优势

· 启闭动作平稳,可实现超高真空管路可靠隔离

· 全金属无弹性体结构,耐受极限高低温、具备抗辐射性能

· 标准手动驱动结构,搭配常规扭矩扳手,操作简便易上手

· 密封垫片 Gasket 可单独拆卸更换,后期维护成本低

二、阀门工作原理

全金属角阀属于提升锥阀品类。当提升锥抬升至顶端位置时,阀腔内部气流通路通畅,无节流阻碍;提升锥下压至阀座底部时,无氧铜金属密封垫被均匀压缩,阻断气体流通,实现金属硬密封。 该类阀门主流应用场景:真空排气系统、高真空抽气管路、半导体制造产线、精密科研实验装置。

三、产品核心性能与配套说明

1. 基础性能参数板块


2. OFCH 无氧铜密封垫片更换操作

全金属角阀长期经过高温烘烤、反复启闭后,后续密封循环所需开关扭矩会小幅上升;当扭矩超过设备允许最大值时,需更换全新 OFCH 无氧铜密封垫片。 产品分为两大结构型号,更换操作区分执行:

1. 直角型全金属角阀

UHV 全金属角阀 | 专为特别工况设计


2. 直通 Y 型全金属角阀

UHV 全金属角阀 | 专为特别工况设计


3. 极限高低温工况实测数据

HTC 全金属角阀完成完整高低温可靠性测试:

· 高温工况:阀门开启状态耐受 400℃,关闭密封状态耐受 300℃,密封漏率达标;

· 低温工况:液氮浸泡、低温喷涂方式完成 - 196℃极限低温复现测试,阀门运行稳定,漏率维持在标准参数区间内。