Alicat MCD双阀双向气体质量流量控制器可以控制质量流量,体积流量,或气体压力。双向同时测量流量,压力,温度。

使用Alicat MCVS防腐蚀真空气体质量流量控制器配备气动截止阀，可用于控制真空应用中 128 多种气体（包括 30 多种腐蚀物）的质量流量或压力。

Alicat MCES防腐蚀气体质量流量控制器配备 1/4 英寸 VCR 配件，并与 SEMI 标准 MFC 端到端匹配，可轻松直接升级到真空沉积装置，控制 98 多种气体的质量流量或压力。可以控制腐蚀性气体。

Alicat MCDS防腐蚀双向气体质量流量控制器可以同时控制质量流量、体积流量或气体压力方向，同时测量多达 130 种气体的流量、气体压力和气体温度，包括 30 多种腐蚀物。

Alicat MCDW低压损双向气体质量流量控制器可以在可用系统压力非常小时（压降低至 0.07 PSID）时控制两个方向的质量流量、体积流量或气体压力。

Alicat艾里卡特科里奥利质量流量泵控制器很容易与现有的液体或气体泵过程集成，无需单独的PID控制器即可实现自动化。该控制器还可以配置为命令阀门与加压气体一起使用。 该精密控制器读取质量流量在40毫秒，并发送数字信号，以控制泵在140毫秒。控制器兼容高达200 cP的气体和液体，流速高达300 kg/h。

使用Alicat艾里卡特CODA KC系列质量流量控制器在非常困难的操作条件下进行高精度控制。 CODA 控制器与各种液体和气体（包括许多腐蚀性物质）兼容，并在高达 4000 PSIA 的压力和低至 40 g/h 的流速下保持高精度控制。

Alicat艾里卡特MCE系列真空质量流量控制器配备 1/4 英寸 VCR 配件，并与 SEMI 标准 MFC 端到端匹配，可轻松直接升级到真空沉积装置。控制 98 多种气体的质量流量或压力。