Alicat MCDW低压损双向气体质量流量控制器

Alicat MCDW低压损双向气体质量流量控制器

l 多功能且准确。 对 98 多种气体（包括自定义混合物）进行双向流量或压力的实时控制，精度可达 NIST 可追溯的读数的 ±0.75% 或满量程的 ±0.1%。

l 快速控制，多变量数据。 通电后立即实现毫秒响应时间，以控制质量流量、体积流量或压力，并以您选择的工程单位显示瞬时流量、压力和温度读数。

l 轻松集成。 定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。

设备规格和定制选项

快速规格

MCDW 系列性能（大多数产品）

l 量程范围： 0.5 SCCM 至 5000 SLPM

l 控制范围： 满量程的0.05% – 100%

l 标准精度校准，NIST 可溯源：读数的 ±0.75% 或满量程的 ±0.1%（以较大者为准）

l 可选高精度校准，NIST 可溯源：读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%（以较大者为准）

l 重复性： ±（读数的 0.2% + 满量程的 0.02%）

l 响应时间：低至 30 ms

l 预热时间： <1秒

MCDW 系列操作条件

l 兼容气体： 98 种预装可选气体校准；可使用COMPOSER™定义其他混合物

l 工作温度： –10°C 至 +60°C

l 满量程工作压力： 60 PSIA

l 耐压： 80 PSIA

l 用户可选择的参考条件（默认）：  25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

设备范围和完整规格

器件定制范围为 0.5 SCCM 满量程 至500 SLPM 满量程，可控范围为满量程的 0.05% 至 100%。

设备特点

每台设备均附带

l 多参数过程测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。

l 用户可更改测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。

l 气体选择： 从我们的气体列表中预装的 98 多种 NIST 可追踪气体校准中选择您的工艺气体 。

l Gas Select Composer™： 使用我们的Gas Select Composer ™ 固件定义最多 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。

l 带集成触摸板的单色背光 LCD： 使用背光显示屏轻松读取测量值，并通过用户友好的集成触摸板控制配置。

l 用户可调节的设定点斜坡和限制：可配置的斜坡速率允许根据需要控制过程变量的快或慢，并且可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点变化的影响。

l (STP) 条件： 快速 更改参考条件， 无需重新校准。

l 阀门开合：利用警报快速排气系统或根据需要停止所有流量。

购买时要求 | 免费

l 可选的集成累加器和批量控制：每 1 毫秒累加一次质量流量，以便精确跟踪一段时间内的总流量，并使用批量控制来分配精确的体积。

购买时要求 | 附加费用

l 可选的集成电位计控制：使用集成电位计，只需旋转旋钮即可调整设定点。

Alicat MCDW低压损双向气体质量流量控制器

设备定制选项

构建和性能选项

l 通信协议：模拟、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET

l 显示屏：单色或彩色背光；集成或面板安装

l 过程连接： NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩、VCR 或 VCO 配件

l 密封圈： Viton、FFKM、EPDM、硅胶

l 校准：高精度；自定义校准点

阀门选项和 PID 调节

您的质量流量控制器可以使用以下阀门选项之一进行定制，以确保在您预期的过程条件下获得理想性能。

l MCDW：小型比例控制阀，适用于 20 SLPM 及以下的流量范围

l MCRDW：几乎无摩擦的大型 Rolamite 比例阀，适用于 50 SLPM 及以上的流量

定制 PID 阀门调节可确保您的特定过程条件发挥最大性能。

可选配件

配件 | 分开售卖

l 过程端口配件和过滤器

l 电源

l 通讯电缆及转换电缆

l BB3 和 BB9 多点接线盒