VAT 65.3控压真空摆阀设定了下游压力控制和隔离的新标准。该系列控压摆阀专为半导体和显示器生产系统而设计，可在较宽的流导范围内提供稳定精确的可控性。65.3 控压摆阀配备带有集成位置控制的电机，可提供改进功能。驱动器控制器具有更高的 32 位数据处理能力，可提供全新可控性。

VAT 61.3压力控制蝶阀在所有条件下均能实现出色的压力控制；凭借其快速且精准的作用动作控制器（0.1 秒），61.3系列控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。