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VAT 65.3控压真空摆阀

产品简介

VAT 65.3控压真空摆阀设定了下游压力控制和隔离的新标准。该系列控压摆阀专为半导体和显示器生产系统而设计,可在较宽的流导范围内提供稳定精确的可控性。65.3 控压摆阀配备带有集成位置控制的电机,可提供改进功能。驱动器控制器具有更高的 32 位数据处理能力,可提供全新可控性。

产品型号:653xx-JAAH
更新时间:2024-03-23
厂商性质:代理商
访问量:249
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品牌Vatvalve应用领域能源,电子,航天,汽车,电气

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VAT 65.3控压真空摆阀

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  VAT 65.3控压真空摆阀设定了下游压力控制和隔离的新标准。该系列控压摆阀专为半导体和显示器生产系统而设计,可在较宽的流导范围内提供精确的可控性。65.3 控压摆阀配备带有集成位置控制的电机,可提供改进功能。

驱动器控制器具有更高的 32 位数据处理能力,可提供全新可控性。这意味着可以非常快速、精细和准确地控制钟摆阀板的各个位置,从而在极短的响应时间内实现非常精确的下游压力控制。阀门的预设运动序列可根据各种不断变化的工艺参数,对速度和路线进行调整。65.3 控压摆阀还可防止粒子释放。阀板经过优化的阻尼关闭运动可避免传统阀门常见的冲击和振动。65.3 控压摆阀的闭合顺畅无碍,几乎察觉不到关闭和打开。阀板提供非常精确的机械引导,可确保往复运动中的无接触气流控制,并在密封运动的所有区域内实现均匀的密封。

65.3 控压摆阀已经安装在数百个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其稳定的可靠性和性能。65.3控压摆阀还是改造现有系统的理想之选。

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65.3 控压摆阀的尺寸为 DN 100-350 mm (4" - 14"),采用铝或硬质阳极氧化铝制成,带有 ISO-F JIS 标准法兰连接。可集成定制法兰,也可作为直接安装选项。标准密封材料为氟橡胶,并且可根据要求使用其他材料。

控制器可采用特殊控制算法(自适应、固定 PID、上游、软抽)。控制器上的各种标准端  口可通过个人计算机或连接到过程控制单 (PCU) 轻松访问。专用的控制性能分析仪 (CPA) 软件可轻松校准 65.3 控压摆阀并简化维护计划。


65.3控压真空摆阀主要特点及优势:

特点:

  • 快速精确的压力控制

  • 无冲击操作:无粒子生成

  • 提高工艺稳定性:可控制所有流量和压力

  • 带有控制性能分析仪 (CPA) 32 位集成压力调节器 (IC2)

  • 即插即用"改造:无需校准或匹配

优势:

   ·       稳定的可靠性、精度和速度

   ·       维护周期延长

   ·       运行成本低


65.3 控压摆阀应用:

显示干式蚀刻

通常情况下,干式蚀刻通过离子轰击(通常是活性气体的等离子体)来移除和蚀刻半导体材料的遮蔽图案,从而将材料从暴露的表面移开。这个过程可能导致冷凝和高度的副作用,这可能影响真空阀的功能和可靠性。

过程控制和隔离

真空和气体流的高精度控制和隔离在半导体制造中是至关重要的。在上游和下游过程中,所有的阀门功能必须保证在大量的循环中具有精确的重复性。其结果是:在规定的时间间隔内精确的体积流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔离阀在此设定了标准。

OLED喷墨打印

OLED的喷墨印刷中,所需的有机材料在常规的大气条件下点滴在大型玻璃基材上的。精确的控制和隔离条件对于实现预期的生产质量和效率至关重要。VAT真空阀解决方案在这一领域设立了标准。

65.3 控压摆阀技术数据


尺寸


DN 100 (4"), DN   160 (6"), DN 200 (8"),
  DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14")

驱动器


带集成压力控制器的步进电机

阀体材料


铝:铝或硬质阳极氧化铝

馈通件

驱动器

密封圈

旋转馈通件

轴馈通件

标准法兰


ISO-F, JIS

泄漏率阀体

硬质阳极氧化铝

< 1 × 10-9 mbar ls-1
  < 1 × 10
-5 mbar ls-1

泄漏率阀座

硬质阳极氧化铝

< 1 × 10-9 mbar ls-1
  < 1 × 10
-4 mbar ls-1

压力范围

硬质阳极氧化铝

1 × 10-8 mbar   to 1.2 bar (绝对压强)
  1 × 10
-6 mbar to 1.2 bar (绝对压强)

第一次维护前开关次数

压力控制

关闭/打开

100 万次

20 万次

温度

阀体

≤ 120 °C


控制器

最大 50℃(建议 ≤35℃)

材料

阀体、阀板

EN AW-6061 (3.3211)


密封圈

EN AW-6061 (3.3211),   AISI 305 (1.4303),
  AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568)


其他部件

AISI 316L (1.4404,   1.4435), AISI 440 (1.4122),
  AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301)

密封

阀盖、阀板、

阀体馈通件

氟橡胶(含氟弹性体)

安装位置


任何位置



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