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VAT 61.3压力控制蝶阀

产品简介

VAT 61.3压力控制蝶阀在所有条件下均能实现出色的压力控制;凭借其快速且精准的作用动作控制器(0.1 秒),61.3系列控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。

产品型号:61.3系列
更新时间:2024-04-12
厂商性质:代理商
访问量:730
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品牌Vatvalve应用领域能源,电子,航天,汽车,电气

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VAT 61.3压力控制蝶阀


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VAT 61.3压力控制蝶阀在所有条件下均能实现出色的压力控制;凭借其快速且精准的作用动作控制器(0.1 秒),61.3系列控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。阀板可充当节流元件,改变阀门开度的流导特性。61.3 系列压力控制蝶阀的集成压力控制器可计算所需的阀板位置,以尽快实现设定压力。该系列产品专为气流中有粒子的恶劣下游工艺设计。即使粒子载荷高并且存在因设计而沉积的碎屑,61.3 蝶形控制阀仍能够保持精确正常运行。

61.3 系列控制阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中,证明了其稳定的可靠性。凭借坚固的设计、直接安装选项,以及简单且轻松的维护,61.3 系列控制阀在各个方面都令人信服。

阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法(自适应、固定 PI 下游/软抽)方面的各种设计选项可简化在不同真空应用中的集成。



61.3 蝶形控制阀采用铝或不锈钢制成,标准法兰连接器为 ISO-KF 和 ISO-F,可以集成客户定制法兰和特殊功能,如集成式绝缘加热器。可根据要求提供各种全氟橡胶/氟橡胶弹性体(氟橡胶为标准选项)。


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61.3压力控制蝶阀的主要特点:

  • 稳定的压力控制

  • 运行非常快

  • 板载软件,用于本地运行

  • 恶劣工艺条件下可实现可靠运行

  • 工艺可控性更好

  • 正常运行时间长/性能不受限

  • 运行成本低


61.3系列压力控制蝶阀尺寸图:


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61.3系列压力控制蝶阀技术参数:

尺寸



DN 25 (1’’) DN 40 (1½’’), DN 50 (2’’),
             DN 63 (2½"), DN 80 (3"), DN 100 (4"),
             DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"),
             DN 320 (12")

驱动器



带步进电机的集成控制器,面向现场的控制 (foc)

阀体材料



铝或不锈钢

标准法兰



ISO-KF, ISO-F

泄漏率


< 1 × 10-9 mbar ls-1

不锈钢


< 1 × 10-9 mbar ls-1

压力范围



1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar

维护前开关次数

压力控制


两百万

温度

阀体


≤ 150 °C

材材

阀体、阀板


             不锈钢

EN AW-6082 (3.2315)
             AISI 316L (1.4404 或1.4435)



AISI 316L (1.4404 或 1.4435)

密封

馈通件


FKM (其他按要求)

馈通件



旋转轴,直接驱动

安装位置



任何(建议安装在真空泵的一侧)








VAT--------------

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