VAT 65.3控压真空摆阀设定了下游压力控制和隔离的新标准。该系列控压摆阀专为半导体和显示器生产系统而设计，可在较宽的流导范围内提供稳定精确的可控性。65.3 控压摆阀配备带有集成位置控制的电机，可提供改进功能。驱动器控制器具有更高的 32 位数据处理能力，可提供全新可控性。

VAT 61.3压力控制蝶阀在所有条件下均能实现出色的压力控制；凭借其快速且精准的作用动作控制器（0.1 秒），61.3系列控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。

VAT全系列真空阀门的设计适用于所有真空度，直至高真空、超高真空和苛刻超高真空条件。VAT真空阀是在洁净室条件下生产的，并为其各自的应用量身定做。除了高纯度外，VAT真空阀由于其高度精确的功能和耐用性，即使在苛刻的运行条件下也表现佳。通过全面的真空隔离阀和控制阀、气体定量阀、传输阀和排气阀、淹没阀以及快速关闭阀的产品组合，VAT为所有应用领域提供了真空的解决方案。

VAT全金属角阀采用 FLEX VATRING“硬对硬”密封技 术。这种动态全金属密封系统能够实现持续的密封和稳 定的闭合力。并且能够以相当低的轴向力实现高密封力。密封件采用不锈钢制成，仅能弹性变形。FLEX VATRING 可在侧面轻松更换。其在打开和关闭位置可以烘烤至 300℃，并且在清洁条件下运行时使用寿命能超过 1000次。