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真空阀门
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PRECESS L-Motion 移位传输门阀适用于腐蚀工艺,如蚀刻或 CVD,通过单轴气动执行器对闸门进行 L 型运动的技术。在 L 型运动中,闸门垂直移动到接近位置 - 不与阀体有任何接触 - 在最后的运动中,它被水平推到闸阀座上,密封件以与连接的气压相关的固定力接触闸阀座。
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