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HTC日扬气动波纹管矩形传输阀(GRB系列)为半导体真空设备专用升降式矩形真空阀,采用气动驱动 + 金属波纹管轴封隔离结构,阀体标配电解抛光工艺,隔绝阀杆往复运动带来的泄漏问题。
更新时间:2026-08-11
产品型号:GRB系列
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PRECESS L-Motion 移位传输门阀适用于腐蚀工艺,如蚀刻或 CVD,通过单轴气动执行器对闸门进行 L 型运动的技术。在 L 型运动中,闸门垂直移动到接近位置 - 不与阀体有任何接触 - 在最后的运动中,它被水平推到闸阀座上,密封件以与连接的气压相关的固定力接触闸阀座。
更新时间:2026-03-10
产品型号:SPTVL 系列(V74)
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