HTC日扬矩形传输阀

HTC日扬矩形传输阀（GRB-HA系列）

一、型号与基础规格表

* 注释：阀门的使用寿命适用于室温 25℃和清洁环境；开启动作适用于小于 10mbar 的压差；如果开启动作超过 10mbar 的压差，则不在保修范围内。

二、外形尺寸参数表（单位:mm）

三、技术参数

压差注释： 正向压差 (P1＞P2)=P1P2；反向压差 (P1＜P2)=P2P1；开启压差 P1P2＜10mbar。

四、产品特点

1. 波纹管主轴密封结构：采用金属波纹管作为主轴动密封，无填料密封，杜绝大气侧杂质进入真空腔体，泄漏率低，保障高真空环境洁净。

2. 阀体硬质阳极氧化处理：A6061T6 铝合金阀体硬质阳极氧化，表面硬度高、耐磨抗刮，抗一定的工艺气体腐蚀，适合工业真空工况。

3. Viton 氟橡胶阀板密封：标准配置 Viton O 型圈密封，耐温、耐多数工艺介质，真空密封性能稳定。

4. 气动驱动，动作可靠：57 Kg/cm² 压缩空气驱动，开关响应迅速；标配位置反馈传感器，可实时反馈阀门开 / 关状态，方便对接 PLC 自动化控制系统。电磁阀支持多种电压规格可选。

5. 两种安装方式：气缸可向上、向下安装，适配设备有限的安装空间，方便整机布局。

6. 长寿命设计：清洁室温环境下，部分型号可达 200 万次循环寿命，适合流水线高频往复开关使用。

7. 压差工况明确：允许正向、反向承压，开启压差建议小于 10 mbar，保护波纹管，延长阀门使用寿命。

五、行业应用

HTC日扬矩形传输阀（GRB-HA系列）

· 光学镀膜、PVD/CVD 真空镀膜设备：镀膜腔与传递腔之间的物料隔离、基片工件传输通道隔断。

· 半导体及泛半导体设备：真空腔体间晶圆、基板的传输隔离，满足高洁净真空工艺要求。

· 真空流水线、真空连续处理设备：多腔室连续式真空生产线，腔室之间作为传输隔断阀。

· 材料热处理、真空烧结设备：工件进出料的真空隔离，实现不破坏主腔真空下取放工件。

· 科研真空装置、实验室真空系统：多腔体实验设备，样品传输隔离。

· 显示面板行业：基板真空传输、腔室隔断。