产品中心
Product Center
站内搜索：
产品简介
KEY HIGH压电真空流量阀（PEV-1）专为高真空系统研发的压电式高精度微量比例进气阀，核心采用压电陶瓷弯曲驱动元件，通过 0~100VDC 电压线性控制阀门开度，实现 0~500SCCM 气体流量连续精准调节，适配真空腔体 PID 闭环恒压控制场景。
| 品牌 | KEY HIGH | 重量 | 0.8kg |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,半导体,机械设备 |
KEY HIGH压电真空流量阀（PEV-1）
阀体内置压电陶瓷弯曲元件，输入直流电压后压电片产生微米级形变，抬起密封垫片形成可控通气缝隙：
1. 0V 电压：压电片复位，阀口全密封关闭；
2. 20~30VDC：达到开启阈值，阀门开始微量通气；
3. 20~100VDC 区间：电压与流量呈稳定线性关系，电压越高、流通量越大；
4. 断电工况：无电压输入自动复位关阀，故障安全设计，保护真空腔体工艺环境。 配套标准 BNC 同轴接口输出控制信号，驱动电流＜10μA，超低功耗无发热，无机械撞击、无颗粒析出，满足洁净真空制程要求。
1. 超快响应速度：仅 2ms 毫秒级响应，压力调节无超调，腔体压强稳定精度高；
2. 线性精准流量控制：0~500SCCM 全程线性调节，适配微量精密进气工艺；
3. 断电安全常闭：失电自动关阀，防止工艺气体泄漏，保障产线安全；
4. 高洁净不锈钢阀体：304 不锈钢真空兼容材质，无杂质析出；
5. 极低漏率：原厂氦检漏率＜1×10⁻⁹scc/sec，适配高 / 超高真空工况；
6. 前置 2μm 过滤保护：入口标配精密过滤器，阻挡粉尘杂质，延长阀片寿命；
7. 多管路接口可选：1/4"卡套 Swagelok、1/4" 外牙 VCR、FNPT 螺纹多种接头；
8. 简易维护可调：顶部微调螺丝可校准开启阈值，密封件、过滤器均可单独更换。
三、KEY HIGH压电真空流量阀（PEV-1）
参数项目 | 详细规格指标 |
产品型号 | PEV-1（标准款）、PEV-1-VCR（VCR 接头款） |
驱动方式 | 压电陶瓷弯曲驱动（无机械连杆） |
控制电压 | 0~100VDC，开启阈值 20~30VDC，最大耐压 100VDC |
驱动电流 | ＜10μA，低功耗不发热 |
流量量程 | 0~500 SCCM（入口 1atm、25℃标准工况） |
响应时间 | ≤2ms，调节无压力超调 |
最大入口压力 | 50 PSI |
关闭漏率 | ＜1×10⁻⁹ scc/sec（1atm 压差氦检） |
阀体材质 | 304 不锈钢 |
密封材料 | Viton 氟橡胶 |
过滤配置 | 入口内置 2μm 精密过滤器 |
电气接口 | 标准 BNC 同轴接头（Kings KC-79-117） |
流体介质 | 干燥、无腐蚀洁净工艺气体（氩气、氮气、氧气等） |
工作环境温度 | +10℃ ~ +60℃ |
动作特性 | 故障安全常闭（失电全关） |
整机重量 | 约 800g |
外形总长 | 4-5/8 英寸，高度 2-3/16 英寸 |
流通方向 | IN 入口 → OUT 出口（单向流通） |
1. PEV-1：标配 1/4" Swagelok 卡套接头压电阀
2. PEV-1-VCR：1/4" 外牙 VCR 金属密封接头款
1. PEV-1-001：Viton 密封垫片维修包
2. PEV-1-002：2μm 入口替换过滤器
3. PEV-1-003：10 英尺 RG-188 配套 BNC 控制线
4. PEV-1-004：1/4"FNPT 入口 + 1/2" 外径管道出口转换接头
当前位置：
上一个：
返回列表
