真空知识之真空阀门

一、真空阀门基础定义

真空阀门是真空系统核心控制元件，主要作用为切换管路气流方向、调节气体流量、接通或切断真空管路。阀门密封依靠橡胶弹性密封圈或金属硬密封垫片实现，是镀膜、半导体、光电、实验室真空设备常备零部件。

二、主流真空阀门品类及应用场景

市面真空阀门品类丰富，不同结构适配的真空区间、工艺场景差异明显，各品类详细介绍如下：

1. 通用真空阀（角阀、直通阀、闸阀） 适配高真空、超高真空设备腔体，用于气流隔离、腔体排气、真空度调节、定量充气；其中闸阀、直通 Inline 阀、角阀是超高真空系统应用非常广泛的基础阀型。

2. 真空蝶阀 快速启闭型阀门，核心结构为圆盘式蝶板，蝶板转轴与管路气流方向垂直，旋转后压紧阀座完成密封，多用于工艺腔体压力精准调控。

3. 传输阀（矩形闸阀） 安装在真空负载锁腔、传输腔与工艺腔之间，作为隔离隔断阀，广泛配套半导体自动化产线，实现硅片、基板真空转运。

4. 真空球阀 90° 旋转直通式阀门，圆形球体密封结构，密封应力均匀，适配腐蚀性酸碱介质管路通断。

5. 钟摆阀 大口径节流专用阀门，安装于工艺腔体与涡轮分子泵进气口，多用于 OLED、FPD 平板显示、光伏 PV 薄膜产线。

6. 全金属真空阀门 专为超高真空烘烤工况设计，无橡胶弹性体密封件，依靠金属垫片硬密封，可承受高温烘烤，可实现大气压至 10⁻¹¹mbar 以下稳定密封。

7. 铝合金角阀 进出口呈 90° 直角结构，阀体采用 A6061-T6 铝合金材质，适配粗真空至高真空工况，多用于半导体检测仪器、实验室研发设备。

8. 特氟龙涂层真空阀 阀体为不锈钢基材，表面喷涂特氟龙防腐涂层，耐各类强化学腐蚀介质，适配化工腐蚀类真空制程。

三、真空阀门通用性能特点

1. 工作压力低于标准大气压，阀瓣承压压降不可超过 1 公斤力 / 平方厘米；

2. 介质适用温度区间为 - 70℃~150℃，具体由产线工艺条件决定；

3. 核心硬性要求：管路高密封性、阀体与密封垫片致密无渗漏；

4. 驱动方式灵活：支持手动现场操控、远程遥控，可选气动、电动、电磁驱动。

四、真空阀门按压力等级分类

依据介质真空压力，行业分为四大标准类别：

1. 低真空阀门：压力 760~1 毫米汞柱；

2. 中真空阀门：压力 1×10⁻³ 毫米汞柱；

3. 高真空阀门：压力 1×10⁻⁴ ~ 1×10⁻⁷毫米汞柱；

4. 超高真空阀门：压力≤1×10⁻⁸毫米汞柱。

五、主流阀型选型补充说明

通径 250mm 以内的真空管路，波纹管截止阀应用非常广泛；大通径管路优先选用闸阀；球阀、柱塞阀、蝶阀为常用辅助阀型。 旋塞阀极少用于真空系统，其润滑油脂易挥发污染真空腔体，会破坏真空洁净度。