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PRECESS普瑞赛思
普瑞赛思真空阀门
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产品分类15796516293
PRECESS普瑞赛思远程等离子控制真空闸阀(V24系列)用于SEMI生产系统中的上游清洁进气室。适用于蚀刻、CVD工艺。
PRECESS普瑞赛思高真空摆阀(V80系列)是特殊类别的隔离控制阀,其中真空门通过旋转运动移出开口横截面。通过非常精细的电导控制,为工艺室下游压力控制提供了标准解决方案。特点:设计紧凑,振动小,启闭平稳,避免过程中产生颗粒。
PRECESS普瑞赛思大型传输插入阀(V76系列)用于太阳能和FPD生产系统中的在线工艺室隔离。
PRECESS普瑞赛思大型传输插入阀(V75系列)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。
PRECESS普瑞赛思远程等离子控制阀(V41系列)用于SEMI生产系统中的上游清洁进气室。适用于蚀刻、CVD工艺。
PRECESS普瑞赛思高真空保护闸阀(V60系列)已经在各种工艺条件下安装在数百种要求苛刻的应用中,证明了其出色的可靠性。它们已成为DN 63-320 mm尺寸的任何高压隔离要求的标准。
PRECESS普瑞赛思高真空闸阀(V21带保温套)配备了VATLOCK技术,该技术是专门开发的,可在闸门密封处提供可靠的密封而不会产生任何摩擦。VATLOCK机构还可以防止阀门故障,这要归功于关闭端位置的机械锁定。
PRECESS普瑞赛思高真空闸阀(V21系列3位)通用于研究和工业中的超高真空隔离应用。特别适用于泵的隔离。
PRECESS普瑞赛思高真空闸阀(V21系列)配备了VATLOCK技术,该技术是专门为提供可靠的密封而开发的,在闸门密封处没有任何摩擦。VATLOCK机构还可以防止阀门故障,这要归功于关闭端位置的机械锁定。
PRECESS普瑞赛思精密真空闸阀(V20系列)配备了VATLOCK技术,该技术是专门为提供可靠的密封而开发的,不会产生任何摩擦,从而避免了颗粒的产生。