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产品简介
PRECESS普瑞赛思远程等离子控制真空闸阀（V24系列）用于SEMI生产系统中的上游清洁进气室。适用于蚀刻、CVD工艺。
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产品分类| 品牌 | 域势科技 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气 |
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PRECESS普瑞赛思远程等离子控制真空闸阀（V24系列）
普瑞赛思是高性能真空阀门等产品的开发者，其产品广泛应用于半导体、光伏 FPD、科研、工业与医疗等领域。本公司能提供完整的真空阀门解决方案，包括控压摆阀、控压蝶阀、传输阀、ATM door、插板阀、快关插板阀与角阀等，还可为客户提供非标定制服务，涵盖加热、水冷、特殊涂层表面处理与密封方式、密封材料等方面。
远程等离子控制真空闸阀在真空环境下具备良好的密封性，以确保系统的真空度；可通过远程控制实现对阀门的精确操作，方便在等离子处理等工艺中进行自动化控制；采用适合等离子环境的材料，具有较好的耐腐蚀性和抗等离子体侵蚀能力，以保证阀门在长期使用过程中的稳定性和可靠性等。
特点
l半标准应用（半E21-94、半E24-92、半E21.1-1296]
l无颗粒，提供极其干净的理想进气室
l硫化门密封
l50000个使用寿命周期
l高真空闸阀
l气动执行器，双作用
l智能模块化设计，易于维护
选项
l白色硬质阳极氧化表面处理
l可定制开口尺寸
l各种O型圈【Kalrez、Chemraz等】
应用
l半导体加工
l所有CVD工艺，包括MO、PE、HDP、LP和AP
l太阳能工艺制造
l所有其他集群和内联真空系统
PRECESS普瑞赛思远程等离子控制真空闸阀（V24系列）
技术参数
执行器 | 气动 | |
馈通 | O型圈轴 | |
泄漏率 | 外部 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
内部 | < 1 × 10-8 mbar l/s | |
压力范围 | 1 × 10-7 mbar to 1.2 bar | |
压差 | On the Gate in opening direction | ≤ 1.2 bar |
On the Gate in closing direction | ≤ 1.2 bar | |
At opening | ≤ 30 mbar | |
循环至first使用 | ≥50,000 | |
温度 | 阀体 | ≤ 120 °C |
阀门 | ≤ 120 °C | |
执行器 | ≤ 120 °C | |
材质 | 阀体 | EN AW-6061 (3.3211) |
阀门 | EN AW-6061 (3.3211) | |
阀帽 | EN AW-6061 (3.3211) | |
轴 | AISI 316L（1.4404，1.4435） | |
密封 | 真空 | FFKM(DUPRA®DU-341) |
气动 | FFKM(DUPRA®DU-341) | |
阀门 | FFKM(DUPRA®DU-341) | |
阀帽 | FFKM(DUPRA®DU-341) | |
安装位置 | 任意 | |
压缩空气连接 | 快速连接器O.D. 4 mm |
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