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产品简介
PRECESS普瑞赛思高真空摆阀（V80系列）是特殊类别的隔离控制阀，其中真空门通过旋转运动移出开口横截面。通过非常精细的电导控制，为工艺室下游压力控制提供了标准解决方案。特点：设计紧凑，振动小，启闭平稳，避免过程中产生颗粒。
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产品分类| 品牌 | 域势科技 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气 |
|---|
PRECESS普瑞赛思高真空摆阀（V80系列）
V80高压摆式隔离阀具有可靠的隔离性能，同时具有低颗粒数和低颗粒活化率。优秀的颗粒性能是通过极其平稳的打开和关闭运动实现的。
它非常适合蒸发器和溅射应用等恶劣工艺中的隔离要求。V80阀门提供3位气动单动关闭弹簧或标准气动单作用关闭弹簧。
凭借其特殊的分体式设计，它允许在不拆卸管道连接或工艺室连接的情况下进行维护。其纤薄的设计允许将V80直接安装到工艺腔室中，从而消除了腔室-阀-泵连接中通常所需的体积。
V80系列已经安装在世界各地数百个批次和各种工艺条件下的在线生产系统中，在各个方面都证明了其出色的性能。
V80高压摆式隔离阀有铝制、硬质阳极氧化或镀镍两种材质，并配有ISO-F、ASA-LP和JIS标准法兰连接器。可以集成客户特定的法兰。其他选项包括用于粗加工（旁路）、通风或仪表、加热溶液的端口，以及硼硅酸盐或蓝宝石玻璃板上的窗口。
特征
l半标准应用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）
l运行时无冲击，振动最小
l旋转馈通
lDN200至DN550，带FKM O型圈闸门密封
优点
l铸造和切割铝材阀体
l分体式机身设计，维护快捷方便
应用
lFPD，一般真空处理
l腐蚀性加工要求
PRECESS普瑞赛思高真空摆阀（V80系列）
技术参数
尺寸 | DN200 to DN550mm | |
执行器 | 气动 | 单动带合闸弹簧（NC） |
阀体材质 | 铝 | |
馈通 | 旋转馈通 | |
标准法兰 | ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS | |
泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
压力范围 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar（abs） | |
压差 | On the Gate | ≤ 1.2 bar |
At opening | < 30 mbar | |
循环至first使用 | ≥200,000 | |
温度 | 阀体 | ≤ 120 °C |
阀门 | ≤ 120 °C | |
材质 | 阀体、板 | EN AW-6061 (3.3211) |
馈通（与媒体接触的部件） | AISI 303 (1.4305), AISI 304 (1.4301) | |
密封 | 阀帽 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9500 |
阀门 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9500 | |
安装位置 | 任意 | |
电磁阀 | 24 VDC，2.5 W（其他应要求） | |
位置指示器：触点额定值 | 电压 | ≤50 VDC |
电流 | 0-50 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
连接器 | 9针微型D | |
压缩空气连接 | 快速连接器O.D. 6 mm |
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