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PRECESS普瑞赛思
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产品分类15796516293
PRECESS普瑞赛思精密真空闸阀(V20系列)配备了VATLOCK技术,该技术是专门为提供可靠的密封而开发的,不会产生任何摩擦,从而避免了颗粒的产生。
PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀(V78系列)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。
PRECESS普瑞赛思双层真空传输阀(V73系列)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。
PRECESS普瑞赛思全加热型真空传输阀(V72系列)适用于半导体制造(SEMI)生产系统中装载锁定室与工艺腔室之间的隔离。适合诸如蚀刻或化学气相沉积等腐蚀性工艺。
PRECESS普瑞赛思真空传输阀(V70系列L型四开口)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。
PRECESS普瑞赛思真空传输阀(V70系列双开口)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。
PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀(V70系列)适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或化学气相沉积(CVD),其技术采用单轴气动执行器驱动的L型运动。在L型运动中,隔板垂直移动到关闭位置——无需与阀体接触——然后在最终运动中水平推至隔板座,密封件以固定力接触隔板座,该力与连接的气压相关。这不仅避免了摩擦和由此产生的潜在颗粒生成,还最小化了密封件的磨损。
PRECESS普瑞赛思真空传输门阀(V77系列)L-Motion密封与传输阀不同,只有一个真空室用于装载或处理。因此,门的另一侧始终处于大气压下。所有PRECESS解决方案都是针对各自的应用量身定制的。
PRECESS普瑞赛思真空控制蝴蝶阀(AB系列)提供压力控制性能。凭借其快速而精确的运动控制器(0.1s),它是在PVD,CVD,Etch和Ald等各种过程中进行压力控制的理想解决方案。板充当节流元件,并改变了阀门打开的电导。 AB-N的集成压力控制器计算所需的板位置,以尽可能快地达到设定的压力。