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PRECESS普瑞赛思
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产品分类15796516293
PRECESS普瑞赛思高真空闸阀(V21带保温套)配备了VATLOCK技术,该技术是专门开发的,可在闸门密封处提供可靠的密封而不会产生任何摩擦。VATLOCK机构还可以防止阀门故障,这要归功于关闭端位置的机械锁定。
PRECESS普瑞赛思高真空闸阀(V21系列3位)通用于研究和工业中的超高真空隔离应用。特别适用于泵的隔离。
PRECESS普瑞赛思高真空闸阀(V21系列)配备了VATLOCK技术,该技术是专门为提供可靠的密封而开发的,在闸门密封处没有任何摩擦。VATLOCK机构还可以防止阀门故障,这要归功于关闭端位置的机械锁定。
PRECESS普瑞赛思精密真空闸阀(V20系列)配备了VATLOCK技术,该技术是专门为提供可靠的密封而开发的,不会产生任何摩擦,从而避免了颗粒的产生。
PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀(V78系列)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。
PRECESS普瑞赛思双层真空传输阀(V73系列)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。
PRECESS普瑞赛思全加热型真空传输阀(V72系列)适用于半导体制造(SEMI)生产系统中装载锁定室与工艺腔室之间的隔离。适合诸如蚀刻或化学气相沉积等腐蚀性工艺。
PRECESS普瑞赛思真空传输阀(V70系列L型四开口)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。
PRECESS普瑞赛思真空传输阀(V70系列双开口)用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或CVD。
PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀(V70系列)适用于腐蚀性工艺,如蚀刻或化学气相沉积(CVD),其技术采用单轴气动执行器驱动的L型运动。在L型运动中,隔板垂直移动到关闭位置——无需与阀体接触——然后在最终运动中水平推至隔板座,密封件以固定力接触隔板座,该力与连接的气压相关。这不仅避免了摩擦和由此产生的潜在颗粒生成,还最小化了密封件的磨损。