一、产品概述
Alicat艾里卡特耐腐蚀系列气体质量流量计是专为精确、快速测量腐蚀性气体(如NH₃、H₂S、CL₂、SO₂、SiH₄等)的质量流量、体积流量、压力和温度而设计的。该系列流量计采用先进的层流压差技术，结合内部补偿机制，确保在大流量范围内气体保持层流运动，从而提供准确可靠的测量结果。
二、核心性能参数
量程范围：定制范围从0.5 SCCM到10,000 SLPM(氢气可达10,000 SLPM)，满足不同场景的流量测量需求。
测量精度：标准精度为读数的±0.8%和满量程的±0.2%，可选高精度模式达到读数的±0.4%和满量程的±0.2%。
重复性：±0.2%满量程，确保测量结果的稳定性。
响应时间：<10毫秒，快速响应流量变化。
工作温度：-10°C至+60°C(可选高温选项，气体温度可达100°C，环境温度85°C)。
工作压力：160 PSIA(11 barA)，耐压200 PSIA(静压)，75 PSID(进出口差压)。
三、功能特点
多参数测量：同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度，提供全面的气体状态信息。
气体校准：内置98多种预加载的NIST可溯源气体校准，支持自定义和存储多达5种成分气体的20种自定义气体混合物，满足复杂气体测量需求。
显示与操作：使用集成触摸板从背光显示屏和控制配置中读取测量值，操作简便直观。
通信接口：支持模拟、RS-232、RS-485、Modbus RTU、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus等多种通信协议，方便与数字工业或实验室网络整合。
过程连接：提供NPT、SAE、AN、BSPP/G、压缩、VCR、VCO等多种过程连接方式，适应不同管道系统需求。
接液材质：采用316L不锈钢和FFKM密封材质(可根据特殊气体选用FKM或EPDM)，确保耐腐蚀性能。
四、应用场景
Alicat艾里卡特耐腐蚀系列气体质量流量计广泛应用于大学/研究所、汽车制造、环境监测、计量校准、真空行业及镀膜、过程工艺气体测量、工业炉窑等领域。其高精度、快速响应和耐腐蚀性能使其成为腐蚀性气体测量和控制领域的理想选择。
五、定制化服务
Alicat艾里卡特提供定制化服务，可根据用户的具体应用需求定制阀门和PID调节功能，确保产品能快速实现稳定控制。同时，用户还可以利用COMPOSER™气体编辑器自定义气体组成，满足特殊气体测量需求。
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更新时间：2025-09-18
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