FELTON费尔顿防腐型气体质量流量计控制器（FCE系列MFC），遵循 SEMI 相关标准，气体接触面粗糙度 Ra0.1，耐腐蚀性能优异。支持 RS485、Profibus、DeviceNET、EtherCAT、0-5V DC、4-20mA 模拟量等多种通讯方案，接头可选 VCR、Swagelok 双卡套、IGS 等规格，可精准稳定控制洁净工艺气体质量流量，适配高纯、强防腐要求的精密气路系统。

FELTON费尔顿质量流量计控制器（GCE系列MFC）采用热式传感器温度补偿技术，可适应不同环境温度工况。支持 ±15V/+24V 供电、RS485、模拟量等多种通讯方案，可选 VCR、双卡套多种接头形式，适配多种气体管路集成，精准、快速控制气体质量流量，降低系统集成难度与使用成本，广泛用于半导体、光伏、实验室等精密气体控制场景。