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产品中心FEILTON费尔顿FEITON质量流量控制器FCE系列FELTON费尔顿防腐型气体质量流量计控制器
产品简介
FELTON费尔顿防腐型气体质量流量计控制器（FCE系列MFC），遵循 SEMI 相关标准，气体接触面粗糙度 Ra0.1，耐腐蚀性能优异。支持 RS485、Profibus、DeviceNET、EtherCAT、0-5V DC、4-20mA 模拟量等多种通讯方案，接头可选 VCR、Swagelok 双卡套、IGS 等规格，可精准稳定控制洁净工艺气体质量流量，适配高纯、强防腐要求的精密气路系统。
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产品分类| 品牌 | FELTON/费尔顿 | 价格区间 | 5千-1万 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 化工,钢铁/金属,半导体 |
产品特点
1. 流道表面 Ra0.1，满足 SEMI 标准，耐腐蚀性更强
2. 分级高精度指标，重复性≤±0.2% F.S.，控制稳定
3. 流量控制区间 2~100% F.S.，覆盖宽量程调节
4. 响应速度快，典型响应时间 1s（随量程略有差异）
5. 丰富通讯协议：RS485 / Profibus / DeviceNET / EtherCAT / 模拟信号
6. 接头选择丰富：VCR、Swagelok 双卡套、IGS 密封接头
7. 常闭电磁阀门结构，关断泄漏指标优秀
l 半导体制程
l 光伏工艺
l 镀膜沉积
l 特种气体输送
l 实验室气体配比
l 真空工艺
l 燃料电池
l 材料研发
参数项目 | 参数规格 |
产品类型 | FCE 系列 MFC 质量流量控制器 |
流量规格 | 5SCCM—1000SCCM；1SLM—800SLM |
控制阀类型 | 常闭，电磁式 |
关闭时流量 | ≤2% F.S. |
流量控制范围 | 2 ~ 100% F.S. |
流量精度 | ±0.25% F.S.(Q≤25% F.S.)；±1% S.P.(Q＞25% F.S.) |
线性 | ≤±0.5% F.S. |
重复性 | ≤±0.2% F.S. |
工作环境温度 | 10 ~ 45℃ |
温度系数 | ≤±0.05% S.P./℃ |
响应时间 | 1s（依据量程不同有所差异） |
工作压差 | 10CC-10SLM：0.05-0.35MPa 20SLM-50SLM：0.2-0.45MPa 100SLM-300SLM：0.3-0.45MPa 400SLM-800SLM：0.35-0.5MPa |
最大工作压力 | 0.6MPa |
漏率 | 橡胶：1×10⁻⁹Pa・m³/sec (He) 金属：1×10⁻¹¹Pa・m³/sec (He) |
通讯方式 | 数字：RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus 模拟：0-5V DC（4-20mA） |
内部接触表面 | Ra0.1 |
标准接头 | VCR：1/4"、1/2" Swagelok：1/4"、3/8"、1/2"、φ6、φ8 IGS：1.125in、1.5in（C-Seal、W-seal） |
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