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产品中心FEILTON费尔顿FEITON质量流量控制器GCE系列FELTON费尔顿质量流量计控制器
产品简介
FELTON费尔顿质量流量计控制器（GCE系列MFC）采用热式传感器温度补偿技术，可适应不同环境温度工况。支持 ±15V/+24V 供电、RS485、模拟量等多种通讯方案，可选 VCR、双卡套多种接头形式，适配多种气体管路集成，精准、快速控制气体质量流量，降低系统集成难度与使用成本，广泛用于半导体、光伏、实验室等精密气体控制场景。
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产品分类| 品牌 | FELTON/费尔顿 | 价格区间 | 5千-1万 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 化工,钢铁/金属,半导体 |
产品特点
1. 内置温度补偿热式传感方案，抗环境温度波动
2. 流量控制区间 2~100% F.S.，高低段分级精度指标
3. 响应速度快，典型响应时间 1s（随量程略有差异）
4. 丰富的通讯接口：RS485、DeviceNET、EtherCAT、Profibus、0-5V DC、4-20mA 模拟量
5. 多种接头可选：VCR、Swagelok 双卡套，适配高纯气路
6. 内部接触面 Ra0.4，满足高纯气体使用要求
7. 常闭电磁阀结构，关断泄漏指标优异
l 半导体工艺
l 光伏电池制备
l 实验室气体配比
l 镀膜沉积
l 真空工艺
l 特种气体输送
l 燃料电池
l 材料研发
参数项目 | 参数规格 |
产品类型 | GCE 系列 MFC 质量流量控制器 |
流量规格 | 10SCCM—1000SCCM；1SLM—800SLM |
控制阀类型 | 常闭，电磁式 |
关闭时流量 | ≤2% F.S. |
流量控制范围 | 2 ~ 100% F.S. |
流量精度 | ±1.0%S.P.(≥30% F.S.)；±0.30%F.S.(＜30% F.S.) |
线性 | ≤±0.5% F.S. |
重复性 | ≤±0.3% F.S. |
工作环境温度 | 10 ~ 45℃ |
温度系数 | ≤±0.05% F.S./℃ |
响应时间 | 1s（依据量程不同有所差异） |
工作压差 | 10CC-10SLM：0.05-0.35MPa 20SLM-50SLM：0.2-0.45MPa 100SLM-300SLM：0.3-0.45MPa 400SLM-800SLM：0.35-0.5MPa |
最大工作压力 | 0.6MPa |
漏率 | 橡胶：1×10⁻⁹Pa・m³/sec (He)金属：1×10⁻¹¹Pa・m³/sec (He) |
通讯方式 | 数字：RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus模拟：0-5V DC（4-20mA） |
内部接触表面 | Ra0.4 |
标准接头 | VCR：1/4"、1/2"Swagelok：1/4"、3/8"、1/2"、φ6、φ8 |
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