EBARA ESA系列真空干泵抽速达1400L/min～10,000L/min，适合氢气等轻质气体排气，以及20,000L/min～80,000L/min排气量的机型，适合大型腔室高速排气；采用紧凑化设计，可以选择耐腐蚀性材料选配件，是MOCVD等大流量轻质气体排气用途的zuijia选择。大型机型兼具大排气量和静音低振的优点，还可选择有机溶剂排气用选配件。

EBARA EV-SA系列真空干泵是无需冷却水的小型空冷干式真空泵。尽管属于安装自由度高的小型设计，最大排气速度达到5000L/min，具有节能、低噪的优点，除了用于生产工厂以外，还可用于实验室和研究室等各种不同环境，也是是各种分析仪器和电子显微镜等洁净排气用途的优质选择。

EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵是小型、轻量、节能的空冷干式真空泵。无需冷却水，所需公用工程仅电源，可在单相100V-240V电源下使用。采用小型、轻量的便携式设计，在有限空间内也能实现安装。除此以外，还采用非接触式密封结构，无需更换密封，使用寿命更长。除了各种分析用途以外，它也是便携式漏泄检测器以及需要反复搬动的研究和试验用途的好选择。