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产品简介
EBARA ESA系列真空干泵抽速达1400L/min～10,000L/min，适合氢气等轻质气体排气，以及20,000L/min～80,000L/min排气量的机型，适合大型腔室高速排气；采用紧凑化设计，可以选择耐腐蚀性材料选配件，是MOCVD等大流量轻质气体排气用途的zuijia选择。大型机型兼具大排气量和静音低振的优点，还可选择有机溶剂排气用选配件。
| 品牌 | EBARA/荏原 | 功率 | 3-9kW |
|---|---|---|---|
| 输送介质 | 其他 | 泵轴位置 | 卧式 |
| 极限压力 | 0.53pa | 叶轮数目 | 多级 |
| 抽气速率 | 1400-80000L/MINl/s | 抽气量 | 1400-80000L/MIN |
| 最大工作压强 | 10 | 重量 | 410kg |
| 电压 | 380V | 排出口径 | 200-500mm |
| 流量 | 1200M3/hm3/h | 应用领域 | 医疗卫生,环保,能源,电子/电池,航空航天 |
EBARA ESA系列真空干泵
EBARA ESA系列真空干泵抽速达1400L/min～10,000L/min，适合氢气等轻质气体排气，以及20,000L/min～80,000L/min排气量的机型，适合大型腔室高速排气；采用紧凑化设计，可以选择耐腐蚀性材料选配件，是MO-CVD等大流量轻质气体排气用途的zuijia选择。大型机型兼具大排气量和静音低振的优点，还可选择有机溶剂排气用选配件，是LCD溅镀装置、真空干燥工艺和大型预真空的zuijia选择。EBRA真空泵先进的控制和监测在半导体等要求苛刻的需求中得到长时间验证。
技术特点：
l 满足大型真空腔室高速排气要求
l 低能耗、高抽速
l 选配后可抽取有机气体、腐蚀性气体
l 适合氢气等轻质气体排气
l 智能转子 RPM 控制功能，可实现灵活的气体通量
l 认证标准： CE、SEMI-S2/NRTL
典型应用：
l LCD、FPD、OLED等行业
l 高含量轻质气体的真空抽取（如H2）
l 腐蚀性气体的抽取
l PVD、MOCVD等工艺
l 半导体、光伏制程
技术参数：
EBARA ESA系列真空干泵
| 设备名称 | 单位 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ||
| 排气速度 | L/min | 1,400 (50Hz) | 2,500 (50Hz) | 5,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | ||
| 1,700 (60Hz) | 3,000 (60Hz) | 6,000 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | ||||
| 极限压力 | Pa | 400 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 0.27 (50Hz) | 0.4 (50Hz) | ||
| 270 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 0.13 (60Hz) | 0.27 (60Hz) | ||||
| 连接口径 | 吸气口 |
| NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | |
| 排气口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力时功率概值 | kW | 2.9 (50Hz) | 2.6 (50Hz) | 5.2 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | ||
| 3.2 (60Hz) | 2.9 (60Hz) | 5.8 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | ||||
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | ||
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40 | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | |
| 电源 相／电压／频率 | 200V机型 |
| 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
| 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | ||||
| 400V机型 |
| 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | ||
| 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | ||||
| 460V机型 |
|
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| 电源容量 | kVA | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | ||
| 质量概值 | kg | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | ||
| 设备名称 | 单位 | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ||
| 排气速度 | L/min | 8,400 (50Hz/60Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | ||
| 极限压力 | Pa | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | ||
| 连接口径 | 吸气口 |
| NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | |
| 排气口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 极限压力时功率概值 | kW | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | ||
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | ||
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | |
| 电源 相／电压／频率 | 200V机型 |
| 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
| 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | ||||
| 400V机型 |
| 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | ||
| 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | ||||
| 460V机型 |
|
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|
| ||
| 电源容量 | kVA | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | ||
| 质量概值 | kg | 400 | 400 | 400 | 400 | ||
| 设备名称 | 单位 | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | ||
| 排气速度 | L/min | 20,000 (50Hz/60Hz) | 28,000 (50Hz) | 47,000 (50Hz) | 80,000 (50Hz/60Hz) | ||
| 30,000 (60Hz) | 50,000 (60Hz) | ||||||
| 极限压力 | Pa | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | ||
| 连接口径 | 吸气口 |
| NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
| 排气口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
| 极限压力时功率概值 | kW | 3.2 (50Hz) | 6.6 (50Hz) | 5.1 (50Hz) | 7.4 | ||
| 3.4 (60Hz) | 7.3 (60Hz) | 6.7 (60Hz) | |||||
| 冷却水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 | |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | ||
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 | |
| 电源 相／电压／频率 | 200V机型 |
| 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
| 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | ||||
| 400V机型 |
| 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | - | ||
| 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | |||||
| 460V机型 |
|
| 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | ||
| 三相/440-480V/60Hz | 三相/440-480V/60Hz | 三相/440-480V/60Hz | |||||
| 电源容量 | kVA | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | ||
| 质量概值 | kg | 410 | 700 | 750 | 1200 | ||
杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
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