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产品简介
PRECESS普瑞赛思远程等离子控制阀（V41系列）用于SEMI生产系统中的上游清洁进气室。适用于蚀刻、CVD工艺。
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产品分类| 品牌 | 域势科技 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气 |
|---|
PRECESS普瑞赛思远程等离子控制阀（V41系列）
该产品采用集成式控制器设计，它将控制器与阀门本体集成在一起，减少了外部布线和连接的复杂性，提高了系统的可靠性和稳定性，同时也便于安装、调试和维护。
特点
l半标准应用（半E21-94、半E24-92、半E21.1-1296）
l无颗粒，提供极其干净的理想进气室
l100万个使用寿命周期
l高真空角阀
l气动执行器，双作用
l智能模块化设计，易于维护
选项
l白色硬质阳极氧化表面处理
l可定制开口尺寸
l各种O型圈[Kalrez、Chemrazetc.]
应用
l半导体加工
l所有CVD工艺（包括MO、PE、HDP、LP和AP）
l太阳能工艺制造
l所有其他集群和内联真空系统
PRECESS普瑞赛思远程等离子控制阀（V41系列）
技术参数
执行器 | 气动 | ||
阀体材质 | 不锈钢 | ||
馈通 | 不锈钢 | 波纹管 | |
阳极氧化铝 | O型圈轴 | ||
标准法兰 | ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS | ||
泄漏率 | 不锈钢 | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
阳极氧化铝 | < 1 × 10-9 mbar l/s | ||
压力范围 | 不锈钢 | 1 × 10-8 mbar to 2 bar | |
阳极氧化铝 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar | ||
闸门开启方向的压差 | ≤ 1.2bar | ||
闸门关闭方向的压差 | ≤ 1.2bar | ||
开口处的压差 | ≤ 1bar | ||
first使用前的生命周期 | 不锈钢 | ≥300,000 | |
阳极氧化铝 | ≥100,000 | ||
温度 | 不锈钢 | 阀体 | ≤ 150 °C |
阀门 | ≤ 150 °C | ||
执行器 | ≤ 120 °C | ||
阳极氧化铝 | 阀体 | ≤ 150 °C | |
阀门 | ≤ 150 °C | ||
执行器 | ≤ 120 °C | ||
材质 | 不锈钢 | 阀体 | AlSI 304 (1.4301) |
阀门 | AlSI 304 (1.4301) | ||
阀帽 | AlSI 304 (1.4301) | ||
阳极氧化铝 | 阀体 | EN AW-6061（3.3211） | |
阀门 | EN AW-6061（3.3211） | ||
阀帽 | EN AW-6061（3.3211） | ||
表面处理 | 不锈钢 | 阀体 | 电解抛光 |
阀门 | Bare | ||
阀帽 | 电解抛光 | ||
阳极氧化铝 | 阀体 | 白色硬质阳极氧化 | |
阀门 | 白色硬质阳极氧化 | ||
阀帽 | 白色硬质阳极氧化 | ||
密封 | 不锈钢 | FKM（Viton®）或根据要求 | |
阳极氧化铝 | FFKM（Kalrez®9500） | ||
安装位置 | 任意 | ||
电磁阀 | 24 VDC或应要求 | ||
位置指示器 | 类型 | 簧片开关 | |
电压 | 12V/24VDC或应要求 | ||
电流 | 5-50 mA | ||
连接器 | AMP 4P mate/D-Sub 9P male | ||
压缩空气连接 | 快速连接器O.D. 4 mm | ||
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