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产品简介
PRECESS普瑞赛思精密真空闸阀（V20系列）配备了VATLOCK技术，该技术是专门为提供可靠的密封而开发的，不会产生任何摩擦，从而避免了颗粒的产生。
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产品分类| 品牌 | 域势科技 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气 |
|---|
PRECESS普瑞赛思精密真空闸阀（V20系列）
SPAV系列已经安装在各种工艺条件下要求苛刻的应用程序中，证明了其出色的可靠性。它已成为压力范围高达<10-7毫巴的真空隔离的标准解决方案，例如与涡轮分子泵连接。
凭借坚固的设计和直接安装选项，以及由于其分体式机身而减少和易于维护，SPAV系列很容易满足所有标准要求。
驱动、法兰连接或额外真空端口的各种设计选项使其易于集成到任何真空应用中。
SPAV系列的一个关键特征是它被锁定在关闭位置，消除了因气动故障而导致的真空损失风险。
SPAV闸阀有手动和气动两种版本，带电磁阀，既可作为车载解决方案，也可用于外部安装。电磁阀标准电压为24 VDC，可根据要求提供其他电压。阀门位置由机械或电气位置指示器指示。
法兰连接器的标准选项是ISO-F和JIS。可以集成客户特定的法兰，以及特殊功能，例如激光应用的闸门（作为无密封的闸门）。
标准闸门密封由FKM中的O型圈密封提供，其他密封材料可应要求提供。
特征：
l低拥有成本
l良好的O型圈轴密封阀
l无冲击，振动最小
l铝制阀体
l空气故障时机械锁处于关闭位置
优点：
lDN40-320，带FKM O型圈闸门密封
l气动执行器双作用
l提供ISO-K版本
lISO-F公制法兰选项
应用：
l通用真空、太阳能、半导体加工
lPVD、溅射沉积
PRECESS普瑞赛思精密真空闸阀（V20系列）
技术参数
尺寸 | DN40 to D320 | |
执行器 | 气动 | 双作用位置指示器 |
Manual | 推杆 | |
阀体材质 | 铝 | |
进料 | 轴馈通 | |
泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
阀座 | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
压力范围 | 1 × 10-7 mbar to 1.2 bar (abs) | |
压差 | In close direction | ≤ 1.2bar |
At opening | < 30mbar | |
循环至first使用 | DN40-100 | ≥200,000 |
DN160-320 | ≥100,000 | |
温度 | 阀体 | ≤ 120 °C |
阀门 | ≤ 120 °C | |
材质 | 阀体、板 | EN AW-6061 (3.3211) |
轴 | AlSI 304 (1.4301) | |
波纹管 | AISI 633(AM350) | |
密封 | 阀帽 | FKM（Viton®）或根据要求 |
阀门 | FKM（Viton®）或根据要求 | |
安装位置 | 任意 | |
电磁阀 | 24 VDC，2.5 W（其他应要求） | |
位置指示器：触点额定 | 电压 | ≤50 VDC |
电流 | 0-80 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
连接器 | 3P male | |
压缩空气连接 | 快速连接器O.D. 4 mm |
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