滑阀式真空泵的工作原理

滑阀式真空泵是一种通过偏心轮带动滑阀机构做往复摆动和旋转运动，改变泵腔容积以实现抽气的容积式真空泵，其工作原理结合了旋转运动与往复运动的特点，具体如下：

核心结构

l圆柱形泵腔：作为气体压缩和输送的封闭空间。

l偏心轮：安装在泵轴上，绕轴心旋转，其几何中心与泵轴中心存在偏心距。

l滑阀杆：一端与偏心轮通过轴承连接，另一端为滑阀（呈圆柱状，与泵腔内壁紧密贴合，可沿泵腔内壁滑动）。

l排气阀：单向阀结构，安装在泵腔排气口处，控制气体单向排出。

工作过程

1. 吸气阶段
当泵轴带动偏心轮旋转时，滑阀杆随偏心轮做偏心运动，导致滑阀在泵腔内既绕泵轴旋转，又沿泵腔内壁往复滑动，从而将泵腔分隔为两个可变容积的区域（吸气区和排气区）。

随着偏心轮转动，吸气区的容积逐渐增大，内部气压降低（低于被抽容器压力），被抽容器内的气体通过进气口进入吸气区，直至吸气区容积达到最大，吸气过程结束。

2.压缩阶段
偏心轮继续旋转，吸气区容积逐渐缩小，原有气体被压缩，压力升高；同时，排气区容积随结构运动发生相应变化，为排气做准备。此过程中，滑阀与泵腔内壁的紧密贴合确保气体无泄漏，实现有效压缩。

3.排气阶段
当吸气区被压缩的气体压力超过排气口外的压力（通常为大气压）时，排气阀被推开，压缩后的气体通过排气口排出泵外。随着偏心轮转动至特定角度，吸气区容积缩小至最小，气体充分排出，排气阀在弹簧力作用下关闭，防止外界气体倒灌。

循环往复

偏心轮持续旋转，滑阀不断改变泵腔内吸气区和排气区的容积，使吸气、压缩、排气三个阶段循环进行，从而持续抽取被抽容器内的气体，逐步降低其压力，实现真空环境。

特点与应用

l相比往复式真空泵，滑阀式真空泵因运动部件惯性小，运行更平稳，振动和噪声较低。

l单级滑阀泵极限真空度通常为 10⁻¹~10⁻²Pa，双级泵可达更高真空度（10⁻⁴Pa 级别）。

l适用于抽取干燥或含少量可凝性气体的场合，广泛应用于化工、冶金、真空冶炼等工业领域。

其核心是通过滑阀的复合运动（旋转 + 滑动）改变泵腔容积，配合单向排气阀实现气体的单向输送，是工业真空系统中常用的真空泵类型之一。

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