PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀

PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀（V78系列）

SPTVI传输阀适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或CVD，通过单轴气动执行器对闸门进行I形运动的技术。在I形运动中，闸门垂直移动到关闭位置，在最后的运动中，它被水平推到闸门座上，密封件以与连接的气压相关的固定力接触闸门座。这不仅避免了任何摩擦和潜在的颗粒产生，还最大限度地减少了密封磨损。

为了最大限度地减少颗粒的产生和活化，闸门配备了硫化密封O型圈。这是一种比标准O型圈密封更可靠、更耐用的密封解决方案，尽管标准O型环密封也是可选的。轴馈通采用高度耐用的金属焊接波纹管密封。

如果发生电源故障，SPTVI可以机械锁定在关闭位置。

SPTVI系列已经安装在各种半导体、太阳能和工业生产过程中的数百个要求苛刻的应用中，证明了其出色的可靠性。SPTVI系列设计坚固，维护简单，在各个方面都令人信服。

SPTVI传输阀始终根据客户的规格量身定制。然而，预定义了四种基本设计类型：两种具有不同后侧开口的阀门类型和两种具有内腔或外腔阀座的插入式阀门类型。

阀体材料选项包括铝、硬质阳极氧化、镀镍或不锈钢。闸门和阀盖密封采用FKM或FFKM。其他密封材料可应要求提供。

特征：

l半标准应用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）

l低振动。获得认证的I-motion连杆

l寿命长

优点：

l焊接波纹管执行器密封

l阀盖法兰螺栓设计有固定器，以防止拆卸时螺栓脱落

应用:

l半导体加工

l气动锁定（可选）

l等离子体蚀刻、CVD、溅射沉积

l太阳能电池板的制造

lLCD/平板工艺

PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀（V78系列）

技术参数