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产品简介
PRECESS普瑞赛思双层真空传输阀（V73系列）用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或CVD。
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产品分类| 品牌 | 域势科技 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气 |
|---|---|---|---|
| 压力范围 | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs) |
PRECESS普瑞赛思双层真空传输阀（V73系列）
V73双层传输阀适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或CVD，通过单轴气动执行器实现闸门L形运动的技术。在L形运动中，闸门垂直移动到关闭位置，与阀体没有任何接触，在最后的运动中，它被水平推到阀座上，密封件以与连接的气压相关的固定力接触阀座。这不仅避免了任何摩擦和潜在的颗粒产生，还最大限度地减少了密封磨损。
为了尽量减少颗粒的产生和活化，闸门配备了插入式O型圈密封，硫化密封是一种选择。这是一种比标准O型圈密封更可靠、更耐用的密封解决方案，尽管标准O型环密封也是可选的。轴馈通采用高度耐用的金属焊接波纹管密封。
在电源故障的情况下，V73可以机械锁定在关闭位置。
V73系列已经安装在各种半导体、太阳能和工业生产过程中的数百个要求苛刻的应用中，证明了其出色的可靠性。凭借坚固的设计以及减少和易于维护，V73系列在各个方面都令人信服。
V73双层传输阀始终根据客户规格量身定制。然而，预定义了四种基本设计类型：两种具有不同后侧开口的阀门类型和两种具有内腔或外腔阀座的插入式阀门类型。
阀体材料选项包括铝、硬质阳极氧化、镀镍或不锈钢。闸门和阀盖密封采用FKM或FFKM。其他密封材料可应要求提供。
特征：
l半标准应用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）
l低振动。获得认证的L形运动连杆和执行器中无弹簧的双换档可实现更快的速度
l更平稳的气动执行器
l机械锁处于关闭位置
优点：
l焊接波纹管执行器密封
l阀盖法兰螺栓设计有固定器，以防止拆卸时螺栓脱落
应用：
l半导体加工
l等离子体蚀刻、CVD、溅射沉积
l太阳能电池板的制造
lLCD/平板工艺
l所有其他集群真空系统
PRECESS普瑞赛思双层真空传输阀（V73系列）
技术参数
尺寸 | 46 x 236 mm, 50 x 336 mm | |
执行器 | 气动 | 双作用位置指示器 |
阀体材质 | 铝或不锈钢 | |
进料 | 波纹管 | |
泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
阀座 | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
压力范围 | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs) | |
压差 | On the Gate | ≤ 1.2bar |
At opening | < 30mbar | |
循环至first使用 | ≥300万次 | |
温度 | 阀体 | ≤ 120 °C |
阀门 | ≤ 120 °C | |
材质 | 阀体、板 | EN AW-6061 (3.3211) |
轴 | AlSI 304 (1.4301) | |
波纹管 | AISI 633(AM350) | |
密封 | 阀帽 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 |
阀门 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 | |
安装位置 | 执行器上方或下方 | |
电磁阀 | 24 VDC，2.5 W（其他应要求） | |
位置指示器：触点额定 | 电压 | ≤50 VDC |
电流 | 0-80 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
连接器 | 9针微型D口 | |
压缩空气连接 | 快速连接器O.D. 6 mm |
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