PRECESS普瑞赛思全加热型真空传输阀

PRECESS普瑞赛思全加热型真空传输阀（V72系列）

V72全加热传输阀适用于蚀刻或化学气相沉积等腐蚀性工艺，采用单轴气动执行器实现闸板的L型运动技术，加热功能可使闸板或阀体上的化学物质气化。在L型运动中，闸板垂直移动至关闭位置——与阀体无任何接触——在最后阶段，闸板水平推向闸座，密封件以与连接气压相关的固定力接触闸座。这不仅避免了任何摩擦以及由此可能产生的颗粒，还最大限度地减少了密封件的磨损。

为了最大限度地减少颗粒的产生和活化，闸板配备了嵌入式O型圈密封，也可选择硫化密封。这是一种比标准O型圈密封更可靠、更耐用的密封解决方案，不过也可选择标准O型圈密封。轴贯穿处采用高度耐用的金属焊接波纹管密封。

在停电情况下，V72可机械锁定在关闭位置。

V72系列已经在各种半导体、太阳能和工业生产工艺中的数百个苛刻应用中安装使用，证明了其优秀的可靠性。凭借坚固的设计以及维护量少且易于维护的特点，V72系列在各方面都令人信服。

V72全加热传输阀总是根据客户的具体要求进行定制。尽管如此，仍预定义了四种基本设计类型：两种具有不同后侧开口的阀门类型，以及两种带有内部腔室阀座或外部腔室阀座的嵌件类型。

阀体材料可选择铝、硬质阳极氧化处理铝、镀镍铝或不锈钢。闸板和阀盖密封件采用氟橡胶（FKM）或全氟橡胶（FFKM）材质。其他密封材料可根据要求提供。

特点：

l半标准应用（符合半导体制程标准半E21- 94、半E24-92、半E21.1-1296）

l低振动。获得认证的L型运动连杆以及执行器中无弹簧的双位移设计，可使气动执行器的驱动速度更快、更平稳 ·

l在关闭位置可进行机械锁定

优势：

l焊接波纹管式执行器密封

l阀盖法兰螺栓设计有固定装置，可防止在拆卸时螺栓掉落

应用：

l半导体加工

l等离子体蚀刻、CVD、溅射沉积

l太阳能电池板的制造

lLCD/平板工艺

l所有其他集群真空系统

PRECESS普瑞赛思全加热型真空传输阀（V72系列）

技术参数