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产品简介
HTC日扬气动矩形门阀（GR系列）也叫矩形真空闸阀，广泛用于真空腔体矩形通道通断，采用气动驱动结构，阀板密封采用 Viton O 型圈，具备低漏率、长寿命，配置位置反馈传感器，可实现自动化控制，分为铝合金阀板（GRA 系列）、不锈钢阀板（GRS 系列）两大系列，多种通径规格可选，适配高真空工况。
| 品牌 | HTC日扬 | 重量 | 18kg |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 能源,半导体,机械设备 |
HTC日扬气动矩形门阀（GR系列）
1. 极低泄漏率：漏率可达 1×10⁻⁹ mbar・L/s，满足高真空系统使用要求；
2. 长使用寿命：循环寿命可达 100 万次，运行稳定可靠；
3. 气动快速开关：开关响应快，小规格开闭时间≤1s，大规格≤2s；
4. 阀板两种材质可选：A6061T6 铝合金、SUS304 不锈钢，适配不同工艺气体、洁净度需求；
5. 标配位置传感器：实时反馈阀门开 / 关状态信号，支持自动化设备联锁控制；
6. 密封件 Viton 氟橡胶，耐多数化学腐蚀，耐温性能优异；
7. 安装灵活，气缸支持向上、向下两种安装方向；电磁阀支持多电压规格选配；
8. 结构紧凑，占用设备空间小，配套标准安装紧固件，方便现场装配。
· 真空镀膜行业：磁控溅射、PVD 镀膜、光学镀膜设备腔体隔离；
· 半导体与光伏设备：工艺腔室真空通道隔断、传片腔体；
· 科研真空设备：实验室真空腔体、束线设备、高真空测试系统；
· 锂电新能源：真空烘烤、注液、化成设备真空管路通断；
· 化工真空设备：高真空工艺管路、真空炉、热处理真空设备；
· 检漏设备、氦检系统，真空腔体隔离切换。
HTC日扬气动矩形门阀（GR系列）
型号 | 料号 | 阀板材质 | D | D1 | D2 | D3 | 开关时间 | 阀板密封 | 重量 (kg) |
GRA32222D | GR014514 | A6061T6 | 222 | 32 | 239 | 48 | 开≤1 关≤1 | Viton | 9 |
GRA46236D | GR024514 | A6061T6 | 236 | 46 | 253 | 62 | 开≤1 关≤1 | Viton | 9.5 |
GRA50336D | GR034514 | A6061T6 | 336 | 50 | 352 | 66 | 开≤1 关≤1 | Viton | 10 |
GRA56496D | GR044514 | A6061T6 | 496 | 56 | 512 | 72 | 开≤2 关≤2 | Viton | 11.5 |
GRS32222D | GR014614 | SUS304 | 222 | 32 | 239 | 48 | 开≤1 关≤1 | Viton | 11 |
GRS46236D | GR024614 | SUS304 | 236 | 46 | 253 | 62 | 开≤1 关≤1 | Viton | 12 |
GRS50336D | GR034614 | SUS304 | 336 | 50 | 352 | 66 | 开≤1 关≤1 | Viton | 14 |
GRS56496D | GR044614 | SUS304 | 496 | 56 | 512 | 72 | 开≤2 关≤2 | Viton | 18 |
项目 | 参数值 |
使用寿命 | 一百万次 |
泄漏率 | 1×10⁻⁹ mbar·L/s |
耐温阀体 | ＜90℃ |
耐温驱动模块 | ＜60℃ |
压力范围 | 1×10⁻⁸ mbar 至 1.0 bar |
驱动压力 | 57 Kg/cm² |
气管接口 | Φ6 mm |
标准密封 | 阀板：Viton O 型圈 |
位置传感器（标配） | DC424 (V) 或 AC4240 (V)，540 mA |
电磁阀（选配） | DC24(V),AC24(V),AC110(V),AC220(V) |
安装位置 | 气缸向上、向下 |
1. 螺丝：M8×45L
2. 定位销：销 Φ10×15L
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