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HTC日扬气动波纹管矩形传输阀

Name: HTC日扬气动波纹管矩形传输阀GRB系列
Brand: HTC日扬
Price: 40000 CNY
Availability: InStock

产品简介

HTC日扬气动波纹管矩形传输阀(GRB系列)为半导体真空设备专用升降式矩形真空阀，采用气动驱动 + 金属波纹管轴封隔离结构，阀体标配电解抛光工艺，隔绝阀杆往复运动带来的泄漏问题。

产品型号：GRB系列

更新时间：2026-08-11

厂商性质：代理商

访问量：11

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真空阀门

直通阀传输阀 Z型阀门 Y型阀门角阀

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品牌	HTC日扬	重量	49kg
应用领域	化工,半导体,机械设备

HTC日扬气动波纹管矩形传输阀(GRB系列)

HTC日扬GRB系列矩形传输阀为半导体真空设备专用升降式矩形真空阀，采用气动驱动 + 金属波纹管轴封隔离结构，阀体标配电解抛光工艺，隔绝阀杆往复运动带来的泄漏问题；阀板采用 Viton 氟橡胶软密封，出厂标配簧片式位置传感器，可实时反馈阀门全开 / 全关信号，方便接入 PLC 自动化控制系统。产品分为两大材质系列：GRB-A（A6061-T6 铝合金阀体）、GRB-S（SUS304 不锈钢阀体），具备极低漏率、长使用寿命、耐洁净真空环境等优势，广泛应用于晶圆镀膜、刻蚀设备、真空腔体传输通道、高真空流水线等半导体制程场景。阀门可气缸向上、向下双向安装，支持选配多种电压电磁阀，适配自动化真空产线批量配套。

HTC日扬气动波纹管矩形传输阀

一、产品外观与结构说明

1. 驱动形式：气动驱动，内置波纹管动密封隔离结构；

2. 表面处理：阀体标准电解抛光；

3. 密封配件：阀板标配 Viton O 型圈；

4. 电气配置：标配簧片位置传感器（DC4~24V/AC4~240V，5~40mA），可选配 DC24V、AC24V、AC110V、AC220V 电磁阀；

5. 管路接口：驱动气管接口 Φ6mm；

6. 安装方式：气缸向上、气缸向下两种安装方位。

二、技术参数

参数项目	详细指标
主轴密封结构	波纹管密封
阀体泄漏率	1×10-9mbar·L/s
阀板泄漏率	1×10-9mbar·L/s
阀体表面处理	电解抛光
耐受温度	阀体＜90℃，气动驱动模块＜60℃
正向承压压差	≤1.2 bar（P1＞P2）
反向承压压差	≤1.0 bar（P1＜P2）
开启压差	＜10 mbar
工作压力范围	1×10-8mbar～1.0bar
气源驱动压力	5～7Kg/cm2
气管接口规格	Φ6 mm
阀板标准密封件	Viton O 型圈
标配传感器	簧片位置传感器 DC4~24V / AC4~240V，5~40mA
可选电磁阀	DC24V、AC24V、AC110V、AC220V

备注定义

1. 正向压差：腔体 P1 压力＞工艺腔 P2 压力，差值 = P1-P2；

2. 反向压差：腔体 P1 压力＜工艺腔 P2 压力，差值 = P2-P1；

3. 开启压差：P1-P2＜10mbar；

4. 使用寿命前提：室温 25℃、洁净工况、开启压差＜10mbar，超出压差范围则质保寿命不生效。

三、全型号基础参数表

表 1：型号、料号、材质、启闭时长、密封、寿命、重量汇总

型号	料号	阀体材质	阀板材质	开启 / 关闭时间	阀板密封	使用寿命	重量
GRB-A-32222	GR01A213	A6061-T6	A6061-T6	开≤1s、关≤1s	Viton	100 万次	15kg
GRB-A-46236	GR02A213	A6061-T6	A6061-T6	开≤1s、关≤1s	Viton	100 万次	16kg
GRB-A-50336	GR03A213	A6061-T6	A6061-T6	开≤1s、关≤1s	Viton	200 万次	21kg
GRB-A-56496	GR04A213	A6061-T6	A6061-T6	开≤2s、关≤3.5s	Viton	100 万次	29kg
GRB-S-32222	GR01A113	SUS304	SUS304	开≤1s、关≤1s	Viton	100 万次	20kg
GRB-S-46236	GR02A113	SUS304	SUS304	开≤1s、关≤1s	Viton	100 万次	22kg
GRB-S-50336	GR03A113	SUS304	SUS304	开≤1s、关≤1s	Viton	200 万次	34kg
GRB-S-56496	GR04A113	SUS304	SUS304	开≤2s、关≤3.5s	Viton	100 万次	49kg

表 2：各型号外形尺寸表（单位：mm）

HTC日扬气动波纹管矩形传输阀

型号	D	D1	D2	D3	D4	D5	A	B	C	E	H	K	K1	K2	L	M
GRB-A-32222	22	32	311	50	105	61.5	50	310	300	285	49	340	83	28.5	501.5	224
GRB-A-46236	236	46	325	50	112	61.5	50	310	300	285	49	340	83	28.5	508.5	224
GRB-A-50336	336	50	422	50	112	63	60	410	400	385	59	440	83	30	475	250
GRB-A-56496	496	56	540	61	117.5	66	70	570	560	545	69	600	94	33	513.5	282
GRB-S-32222	22	32	311	50	105	61.5	50	310	300	285	49	340	83	28.5	501.5	224
GRB-S-46236	236	46	325	50	112	61.5	50	310	300	285	49	340	83	28.5	508.5	224
GRB-S-50336	336	50	422	50	112	63	60	410	400	385	59	440	83	30	475	250
GRB-S-56496	496	56	540	61	117.5	66	70	570	560	545	69	600	94	33	513.5	282

四、产品核心优势

1. 波纹管密封结构：阀杆隔离真空腔体，动密封无往复泄漏，漏率低至1×10-9mbar·L/s，适配超高洁净真空；

2. 双材质选型：铝合金轻量化款、304 不锈钢耐腐蚀款，满足不同制程环境；

3. 长使用寿命：主力型号可达 200 万次开关耐久，工业产线长期稳定运行；

4. 自动化配套齐全：标配阀位传感器、多电压电磁阀可选，可快速对接半导体设备 PLC；

5. 电解抛光阀体：内壁光洁无杂质析出，适配晶圆、镀膜等高精度洁净制程；

6. 双向安装：气缸上下均可装配，设备腔体布局适配性强。

五、适用场景

HTC日扬气动波纹管矩形传输阀(GRB系列)

半导体晶圆刻蚀、PVD/CVD 镀膜设备、真空传输腔体、锂电高真空封装、科研超高真空平台、精密元器件真空检漏流水线。

上一个：YVBS系列HTC日扬单动气动波纹管CF法兰Y型阀门

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HTC日扬气动波纹管矩形传输阀

一、产品外观与结构说明

二、技术参数

备注定义

三、全型号基础参数表

表 1：型号、料号、材质、启闭时长、密封、寿命、重量汇总

表 2：各型号外形尺寸表（单位：mm）

四、产品核心优势

五、适用场景

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