皮拉尼真空计又称皮氏计,是1906年由德国物理学家Marcello Pirani发明的热传导式真空测量仪器,是中低真空场景下应用广泛的测量设备之一。
皮拉尼真空计其核心使用注意事项:
一、校准相关要求
使用前必须按顺序完成零点和满度校准:先将系统抽至1×10⁻¹Pa以上完成零点校准,再通入大气稳定10分钟完成满度校准,仅在更换规管时才需要重新校准,日常无需反复调校。
二、气体种类适配
皮拉尼真空计默认以空气/氮气为校准基准,测量氩气、氢气、有机蒸气等其他气体时,因热导率差异读数会出现偏差,高精度测量需使用对应气体的修正曲线,或更换电容薄膜规等适配设备。
三、安装与防护要点
在易产生粉尘、油蒸气的污染系统中,规管需端口朝下安装,减少污染物在管内积聚,避免热丝被污染后影响测量精度,延长设备使用寿命。
四、操作使用规范
开机后需等待3秒预热再进入测量状态,测量范围需控制在1×10⁻¹Pa ~ 1×10⁵Pa的额定区间内,超出量程会导致测量失效,超高真空场景需搭配电离计协同使用。