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产品简介
MKS微型皮拉尼真空计（925）是一种基于独特 MEMS（微电子机械系统）真空传感器的热导真空计。
| 品牌 | MKS/美国 | 价格区间 | 5千-1万 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件 |
MKS微型皮拉尼真空计（925）
925微型皮拉尼真空传感器是一种基于独特 MEMS（微电子机械系统）真空传感器的热导真空计。925微型 Pirani™ 提供模拟电压输出、数字接口和用于过程控制的设定点继电器。
ljue对测量范围从10-5Torr到大气压
lMicroPirani传感器能够承受空气冲击或振动造成的损坏
l模拟、RS232、RS485 和 EtherCAT® 版本
l可选的集成触摸屏显示用于当地压力指示
l三个可选的过程控制设定点继电器
MKS微型皮拉尼真空计（925）
技术参数
数字通信 | RS485/RS232 (4800到230400波特) | 模拟输出分辨率 | 16位 |
传感器 | MicroPirani™（MEMS 热导率） | 继电器触点额定值 | 1 A @ 30VAC/DC，电阻性 |
继电器 | 3个继电器 SPDT（可选） | 中继响应 | <100 毫秒 zui大 |
安装方向 | 任何 | 电源要求 | 9到30伏直流电， zui大1.5瓦 |
测量范围 | 1.0 x 10-5 Torr到大气压 | 准确性 | 5x10-4到 10-3 Torr，读数的 ±10% |
设定点范围 | 5.0 x 10-4 Torr到500Torr | 重复性 | 10-3 到 100 Torr ± 2% 的读数 |
校准气体 | 空气，氩气，氦气，氮气，氢气，水蒸气，二氧化碳，氙气，氖气 | 超压限制 | 3000 Torr jue对值 |
工作温度 | 0°到40°C (32°到104°F) | 内部容积 | (KF16) 2.80 毫升 |
zui高烘烤温度 | 85°C (185°F)，非工作温度 | 暴露材料 | 304不锈钢，硅，SiO2，Si3N4，金，Viton®，低出气环氧树脂 |
数字控制 | 零调整，气氛调整，压力单位，波特率，地址，工厂默认，气体类型；设定点功能：值，滞后，方向，启用模拟输出传感器状态，开关，LED测试 | 电子外壳和法兰 | 304不锈钢 |
数字状态 | 压力读数和单位，设定点，操作时间，传感器温度，用户标签，型号，设备类型，序列号，固件和硬件版本部件编号，制造商 | 重量 | 170 克 (KF 16) |
模拟输出 | 1到9 VDC，zui大输出阻抗100Ω，1 volt/decade | 合规 | CE |
功能
925 转换器提供了从 1x10-5torr到大气压的广泛测量范围，其基于热导率的测量。MicroPirani 传感器由一个带有加热电阻元件的硅芯片组成，该元件形成腔体的一个表面。芯片上的盖子形成腔体的另一个表面。由于传感器的几何形状，腔体内无法发生对流，因此传感器对安装位置不敏感。气体分子仅通过扩散到达加热元件，在此测量气体的热损失。
像所有的热导率传感器一样，925对气体类型敏感。为了补偿气体依赖性，MicroPirani 具有多种常见的气体校准，可以通过数字接口进行选择。这使得它成为在真空系统中定位中到小泄漏的简单解决方案。校准气体包括：空气、氩气、氦气、氮气、氢气、水蒸气、二氧化碳、氙气和氖气。
925 还具有 1VDC/decade 的模拟压力输出，可以与外部模拟设备连接，用于压力读取或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。
925最多可以有三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁阀或泵。
可选的集成触摸屏显示器可以由用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并且可以访问设定点参数以及气体类型。该显示器还显示可用设定点继电器的状态。在高对比度显示屏上，可以从5米外清楚地看到单个传感器的压力读数或组合读数。
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