氦质谱检漏仪调试指南：泄漏率校准、背景噪声排除的 5 个关键步骤

氦质谱检漏仪的调试核心在于精准校准泄漏率和che底排除背景噪声干扰，以下 5 个关键步骤可保障设备处于好的检测状态，适用于工业真空、气体密封检测场景。

步骤 1： 设备预启动与基础参数检查

1. 确认检漏仪供电电压稳定（符合设备铭牌标注，如 220V/50Hz），真空泵油位在标线范围内，油质无浑浊、乳化现象。

2. 连接氦气钢瓶，检查减压阀、管路接头无松动，打开钢瓶阀门后确认无氦气泄漏（可先用肥皂水涂抹接头处排查）。

3. 启动检漏仪主机和真空泵，预热 30~60 分钟（不同型号略有差异），使设备内部温度、真空度达到稳定状态，避免温度漂移影响检测精度。

4. 进入设备操作界面，核对基础参数：真空极限压力、氦气灵敏度阈值，恢复出厂默认检测模式（如累积模式、实时模式）。

步骤 2： 背景噪声基线标定与排除

背景噪声是影响检漏精度的主要干扰源，需先标定基线再针对性排除：

1. 基线标定：在无氦气注入、检测腔体全密封的状态下，运行检漏仪 5~10 分钟，记录设备显示的泄漏率数值，此为初始背景噪声基线。

2. 噪声排除措施

l若基线数值偏高且波动大，检查真空泵与检漏仪的连接管路是否漏气，更换老化的密封垫圈；

l排查周边环境氦气干扰（如附近氦气钢瓶泄漏、其他检测设备排气），必要时关闭无关氦气源或移动检漏仪至独立空间；

l若设备内置吸附阱，确认吸附剂未失效（失效吸附剂无法过滤杂质气体，会导致噪声升高），及时更换。

3. 重新标定基线，确保背景噪声稳定在设备说明书规定的zui低阈值以下（如≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s）。

步骤 3： 标准漏孔校准泄漏率（核心步骤）

采用已知泄漏率的标准漏孔进行校准，确保检测数值准确：

1. 选择与待测工件泄漏率范围匹配的标准漏孔（如待测工件要求 1×10⁻⁸ ~ 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，选用同量程标准漏孔），记录漏孔的标称泄漏率值。

2. 将标准漏孔通过专用接头连接到检漏仪的检测接口，确保连接密封无泄漏。

3. 打开标准漏孔的阀门，缓慢通入氦气，等待检漏仪数值稳定后，记录显示的泄漏率读数。

4. 对比显示值与标称值，若偏差超过 ±10%，进入设备校准菜单，按照说明书调整灵敏度系数，直至显示值与标称值一致。

5. 校准完成后，关闭标准漏孔阀门，观察数值是否回落至背景噪声基线，确认设备无残留氦气干扰。

步骤 4： 腔体真空度优化与氦气残留清除

1. 对待测腔体进行抽真空处理，确保腔体真空度达到检漏要求（通常需≤1×10⁻² Pa，具体根据检测标准调整）。

2. 若腔体抽真空后仍有氦气残留（数值居高不下），延长抽真空时间，或采用 “氮气吹扫 + 二次抽真空" 的方式，清除腔体内残留的氦气。

3. 检查腔体与检漏仪的连接管路是否过长，过长管路会导致氦气响应延迟，可缩短管路或增加辅助真空泵。

步骤 5： 系统联动测试与数据验证

1. 完成校准和噪声排除后，用待测工件的模拟件进行联动测试：在模拟件上人为制造微小泄漏（或连接另一标准漏孔），检测检漏仪的响应速度和数值准确性。

2. 重复测试 3 次，确保每次检测数值偏差≤±5%，记录测试数据并生成校准报告。

3. 保存校准参数至设备，设置参数保护密码，防止误操作导致校准数据丢失；同时清理设备表面和管路，关闭氦气钢瓶阀门，完成调试。

调试注意事项

1. 标准漏孔属于精密器件，需轻拿轻放，避免磕碰，定期送计量机构检定。

2. 氦气属于惰性气体，操作时保持通风良好，防止缺氧风险。

3. 调试完成后，建议每周进行 1 次背景噪声复查，每月用标准漏孔校准 1 次。

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