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产品简介
HTC日扬连杆式气动插板阀（GVB-SS-CF），采用标准 CF 超高真空法兰，焊接波纹管主轴密封、金属密封圈阀盖密封；气动气缸驱动连杆机构，实现阀门自动开关动作，无油无润滑，低放气，支持烘烤，满足 UHV 超高真空工况。分为 CF35、CF50 两种小型通径规格，广泛用于科研束线、真空镀膜、半导体、分析仪器等高真空系统管路自动通断隔离。
| 品牌 | HTC日扬 | 电动机功率 | 0kW |
|---|---|---|---|
| 重量 | 5.2kg | 应用领域 | 航空航天,半导体 |
产品特点
1. 金属密封 + 焊接波纹管主轴密封：阀盖无氧铜金属密封，波纹管作为动密封，无填料、无油脂，极低放气，实现超高真空，阀体可烘烤。
2. 连杆式传动结构：连杆驱动阀板，受力均匀，密封重复性高，开关动作稳定。
3. 气动气缸驱动：自动化开关，可搭配位置传感器反馈阀门开关状态，对接 PLC 控制系统。
4. 标准 CF 超高真空法兰接口，行业通用标准，互换性好；法兰需要按规定扭矩紧固，保障金属密封漏率。
5. 全不锈钢阀体结构，抗腐蚀，适配洁净、非腐蚀性工艺气体环境。
6. 结构紧凑小巧，设备内部狭小空间方便安装布局。
· 科研真空设备：同步辐射束线、实验室超高真空腔体、电子束实验装置；
· 真空镀膜行业：PVD 磁控溅射、电子束蒸发设备超高真空管路隔断；
· 半导体设备：超高真空工艺管路、样品传输腔体；
· 分析仪器：扫描电镜、表面分析设备真空回路通断；
· 氦检检漏系统、航天配套真空设备。
型号 | 料号 | 接口直径 | 法兰 O.D | 螺栓 P.C.D | 螺栓尺寸 * 数量 | 扭矩 (kg-cm) | 螺纹深度 |
GVB-SS-CF35-P | GB3A311 | 37.5 | 69.5 | 58.7 | M6*6 | 170 | 10 |
GVB-SS-CF50-P | GB3B311 | 50 | 86 | 72.4 | M8*8 | 210 | 13 |
型号 | 料号 | A | B | C | D | E | F | G | H | L |
GVB-SS-CF35-P | GB3A311 | 45.4 | 52 | 53 | 63 | 90 | 88 | 119 | 135 | 254 |
GVB-SS-CF50-P | GB3B311 | 56 | 56 | 53 | 81 | 104 | 123 | 167 | 154 | 321 |
重要提示：CF 法兰螺栓务必按照上表扭矩紧固，保证金属密封漏率性能。
项目 | 参数 |
驱动方式 | 气动气缸驱动（连杆式） |
主轴密封 | 焊接金属波纹管 |
阀盖密封 | 无氧铜金属密封圈（UHV 超高真空） |
法兰标准 | CF 超高真空法兰 |
公称通径 | DN35、DN50 |
工作压力范围 | 1×10⁻¹⁰ mbar ~1bar（大气压） |
驱动气源压力 | 5-7 Kg/cm² |
烘烤温度 | 阀体最高 200℃，气缸部分＜80℃ |
适用介质 | 洁净空气、非腐蚀性干燥工艺气体 |
可选配置 | 位置反馈传感器、电磁阀 |
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