Sens4智能皮拉尼真空计

Sens4智能皮拉尼真空计（VPM-5）

非常好的真空测量技术

VPM-5 智能皮拉尼真空传感器基于优秀技术，可提供好的性能，并通过将导热真空计的可用真空测量范围扩展10到30年，建立了新的性能标准。

通过集成MEMS隔膜传感器，消除了热导率计在粗真空范围内的气体依赖性，该传感器提供了与更昂贵的电容压力计相当的精度性能。测量与气体类型和浓度无关，增强了测量的信心，并确保了对真空系统通风过程的更精确控制，这有助于防止真空系统超压。

实时压力读数

集成显示器可在1×10^-6 至1333mbar的整个测量范围内即时、一目了然地显示实时真空压力。

针对具有挑战性的工业应用进行了优化

对于传感器可能暴露在腐蚀性或侵蚀性气体中的应用，SmartPirani™可提供保形保护涂层，作为有效的屏障。

在某些真空过程中，颗粒物会损坏真空计。对于这些应用，SmartPirani™传感器配有保护挡板，可以阻挡宏观颗粒。结合保护涂层选项，新型SmartPirani™传感器专为恶劣的真空环境而设计。

                 带防护挡板的VPM-5传感器

Sens4智能皮拉尼真空计（VPM-5）

特点：

l 超宽测量范围

从1.0E-6到1333mbar

l 耐腐蚀性

可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护

l 气体独立测量

精密隔膜传感器的使用范围为2至1333mbar

l 高性价比

适用于各种真空应用的优秀性能

行业应用和市场焦点

VPM-5 SmartPirani™专为先进真空过程的可靠测量和控制而设计，适用于工业和科学领域的广泛应用。VPM-5配置有多种选择，可满足各种应用的不同要求。

l 氢气供应

测量和监测储氢罐和供应管线中的绝缘真空。

l 半导体

半导体应用中的CVD、PVD和前线真空测量。可提供陶瓷耐腐蚀传感器。

l 质谱仪

利用质谱仪仪器中VPM-5提供的低压测量能力。

l 太空模拟

在模拟太空恶劣环境时测量真空气体压力。  

l PVD 涂层

VPM-5具有可维修的挡板保护，可在物理气相沉积（PVD）涂层应用中使用并延长使用寿命。

l 熔炉

在真空热处理过程中测量和控制真空度。可选挡板和涂层保护，适用于工业应用。