Sens4智能皮拉尼真空计

Sens4智能皮拉尼真空计（VPM-7）

VPM-7智能皮拉尼真空计为半导体负载锁定精密压力控制和其他真空应用而设计，在这些应用中，相对于大气环境压力的精确压力测量非常重要。

VPM-7提供了优秀的性能，具有比传统负载锁定传感器和其他负载锁定传感器解决方案更宽的测量范围、更高的精度、更快的测量周期。

智能皮拉尼ATM通过将导热系数皮拉尼热损失真空计的可用测量范围扩展10至30年，建立了新的标准。

多传感器一体式传感器解决方案

VPM-7是一款真正的多传感器真空计，具有四个压力输出：大气环境传感器、宽范围热损失皮拉尼传感器、绝对隔膜传感器和相对于大气压的信号，所有这些传感器共同作用，优化现代装载锁真空室中的精确压力控制。隔膜传感器提供2至1333mbar（1.5至1000Torr）的精确气体无关绝对读数。

装载锁是一种真空室，用于将半导体晶片等器件从环境气压装载到真空处理室中。负载锁通常在大气压和将晶片转移到处理室所需的适当真空水平之间循环。装载锁内的精确压力控制对于防止环境空气和颗粒物污染至关重要，可以保护腔室和晶片。

数字接口

RS-232和RS-485串行接口便于将压力和温度测量数据传输到外部设备。

该数字接口支持诊断、预测性维护、维修、校准、设定点配置、模拟输出缩放和真空压力测量的实时采集，以实现屏幕可视化。

耐腐蚀传感器

通常，装载锁装置是干净的，没有腐蚀性气体。然而，可选的耐腐蚀传感器使VPM-7 SmartPirani™ATM能够在存在侵蚀性化学物质或残留蚀刻气体的应用中使用。

陶瓷是一种高度耐腐蚀的材料，通常用于电容式隔膜计中的真空传感器隔膜。

Sens4智能皮拉尼真空计（VPM-7）

特点：

l 超宽测量范围

从1.0E-6到1333mbar

l 大气开关

真空系统排气压力的精确控制

l 独立于气体的测量

隔膜传感器2至1333mbar

l 负载锁设计

负载锁定压力控制的一体化解决方案

应用与市场

VPM-7智能皮拉尼真空计专为先进真空过程的可靠测量和控制而设计，适用于负载锁定系统的压力控制。VPM-7配置有多种选择，可满足不同行业和应用的不同要求。

l 半导体

VPM-7能够精确控制负载锁定系统中的压力。其他供应商传统负载锁定传感器的插入式替换配置。

l PVD 涂层

VPM-7具有可维修的挡板保护，可在PVD涂层应用中使用并延长使用寿命。精确控制真空系统的排气。

l 质谱仪

利用质谱仪仪器中VPM-7提供的低压测量能力。

l 太空模拟

在模拟太空恶劣环境时测量真空气体压力。

l 电子显微镜

将真空测量和相对于环境压力的测量与VPM-7 SmartPirani ATM相结合。

l 熔炉

在真空热处理过程中测量和控制真空度。可选挡板和涂层保护，适用于工业应用。