INFICON UL1000Fab氦质谱检漏仪

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INFICON UL1000Fab氦质谱检漏仪 漏率低至10-13pa.m3/s，开创泄漏检测稳定性和灵敏性的新维度，INFICON UL1000Fab移动式氦气泄漏检测仪专门设计用于满足半导体应用需求。UL1000 Fab将工厂环境系统内的易用性、泄漏检测效率和机动性作为优先考虑因素，在整个测量范围内都能做出极快的漏率响应。专有软件I-CAL (漏率智能算法) 解决了低漏率范围内响应时间较长的问题，因为UL1000 Fab能够对所有漏率范围快速做出响应。客户通过增加TC1000测试室附件，UL1000 Fab氦气泄漏检测仪能够简单、快速、精确地测试密封件，例如集成电路组件、石英晶体和激光二极管 (根据MIL-STD 883标准，方法1014)。

技术特点：

l  快速抽气和响应

l  可移动的全金属机箱，具有无比的便利性与可操作性

l  I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm for Leak rates，即漏率智能算法) 确保在全部测量范围内最快速的响应时间

l  带自动集成校准准的抑零功能可实现快速、频繁、精准的检漏测试

l  带耐用的涡旋泵和多进气口涡轮分子泵可应用于洁净车间

l  高的氦抽速和高压缩比

l  可旋转的显示器和用户界面，使操作人员可以简单容易地控制仪器，简化了人与仪器之间的交互作用，并可选配无线遥控器，远程操控。

l  自保护功能可保护UL1000 Fab免受氦气和微粒污染

l  周期式自动冲洗功能确保清除污染，使仪器可以随时准备好进行测试

l  INFICON免费提供软件更新

l  用于内部标定的内置测试漏孔可确保精确的测试结果

l  内置软件菜单“Auto Leak Test"(自动泄漏测试) 功能用于对密封件执行测试。使用选配TC1000测试室，可自动测试。