PRECESS普瑞赛思全加热型真空传输阀（V72系列）适用于半导体制造（SEMI）生产系统中装载锁定室与工艺腔室之间的隔离。适合诸如蚀刻或化学气相沉积等腐蚀性工艺。

PRECESS普瑞赛思真空传输阀（V70系列L型四开口）用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或CVD。

PRECESS普瑞赛思真空传输阀（V70系列双开口）用于SEMI生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或CVD。

PRECESS普瑞赛思真空传输插入阀（V70系列）适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或化学气相沉积（CVD），其技术采用单轴气动执行器驱动的L型运动。在L型运动中，隔板垂直移动到关闭位置——无需与阀体接触——然...

PRECESS普瑞赛思真空传输门阀（V77系列）L-Motion密封与传输阀不同，只有一个真空室用于装载或处理。因此，门的另一侧始终处于大气压下。所有PRECESS解决方案都是针对各自的应用量身定制的...

PRECESS普瑞赛思真空控制蝴蝶阀（AB系列）提供压力控制性能。凭借其快速而精确的运动控制器（0.1s），它是在PVD，CVD，Etch和Ald等各种过程中进行压力控制的理想解决方案。板充当节流元件...

Leybold莱宝电容薄膜真空计（CTR100）适用于腐蚀性工艺气体。它能达到优秀水平的精度（0.2%），通过陶瓷电容式传感器进行真空度测量。

Leybold莱宝热阴极真空计（ITR90）是一款经过优化的组合变送器。通过将热阴极电离传感器（采用热阴极电离的 Bayard Alpert 原理）与皮拉尼传感器相结合，可实现 5×10-1...

Leybold莱宝线性压力传感器（DI200）是一款性能优异的真空压力测量仪器。它坚固耐用，防护等级为IP54，适用于恶劣环境。产品非常紧凑，只需要一个传感器，采用电容式或压电式传感器。

Leybold莱宝皮拉尼和电容膜片复合真空计（TTR101）的测量范围从 5×10⁻⁵ 到1500 mbar，能够满足从粗真空到高真空的测量需求。在 10mbar 到 1500mbar 的测...