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产品中心YUSEETECH自营品牌域势真空计温补型域势科技电容金属薄膜真空计
产品简介
域势科技电容金属薄膜真空计（温补型）采用单侧双电极差分电容设计，暴露于工艺气体的材料全部为Inconel/Incoloy合金。
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产品分类| 品牌 | 域势科技 | 量程 | 1.333至1333mbar |
|---|---|---|---|
| 测量原理 | 基于薄膜与固定电极之间的电容变化进行压力测量 | 价格区间 | 1万-2万 |
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 能源,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件 |
域势科技电容金属薄膜真空计（温补型）
温补型电容金属薄膜真空计采用单侧双电极差分电容设计，暴露于工艺气体的材料全部为Inconel/Incoloy合金，超高灵敏度的前端电路和*算法，保证在工作压力下有很高的灵敏度和测量精度，响应迅速，性能稳定，抗腐蚀性强，独特的温度补偿算法帮助产品快速稳定。提供1Torr至1000Torr满刻度范围，具有低成本、高性能的特点，适用于镀膜行业、半导体和等离子应用等恶劣的生产加工环境，为其提供稳定的性能。
优点
1.温度补偿型金属薄膜差分电容绝压传感器
l高度灵敏
l高精度和重复性
l长期稳定性高
l快速到达工作状态
2.传感器全部为坚固且耐腐蚀Inconel合金
l不依赖气体，测量结果与气体成分无关
l允许与腐蚀性或肮脏气体一起使用
l真空计材料对过程无污染
3.输出信号丰富
l易于集成，接口丰富，满足各种系统集成需求
l独立的Type C 诊断、调试、配置接口
4.压力触发输出功能
l通过继电器输出压力触发信号
域势科技电容金属薄膜真空计（温补型）
技术参数
指标 | 规格参数 |
满刻度量程 | 1Torr，10Torr，100Torr，1000Torr，定制 |
精度 | ±0.5%的读数 |
分辨率 | 0.001%FS |
零温度系数%满量程/℃ | 0.015% |
量程温度系数%读数/℃ | 0.02% |
建议读数范围 | 0.005V to 10V@FS |
建议控制压力范围 | 0.05V to 10V@FS |
设备内部温度选项 | 非恒温，温度补偿算法 |
预热时间 | 30分钟 |
环境温度 | 0至40℃ |
触发功能 | 支持，两路单刀双置开关，分布可以设置0.1%~100%FS任意压力，继电器容量0.6A@30VDC |
故障输出功能 | 可选，通过继电器输出恒温故障和设备故障 |
输出 | 0-10VDC模拟输出，＞10K欧姆；RS422输出（RS485可选） |
电气连接器 | D-Sub，15脚，针型插座；M8航插，7脚，孔型插座 |
输入电源 | ±15VDC（±5%）、24VDC（±5%）或 20~26VDC;5W |
超压限制 | 45Psia |
暴露于工艺气体的材料 | 进样管为316L材料，其余均为Inconel和Incoloy合金 |
传感器响应时间 | 25毫秒 |
校准方向 | 默认垂直校准，水平校准可选 |
内部体积 | 5.1ml（不包含进样接口） |
杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
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