域势科技电容金属薄膜真空计

域势科技电容金属薄膜真空计（高温型）

高温型电容金属薄膜真空计采用单侧双电极差分电容设计，暴露于工艺气体的材料全部为Inconel/Incoloy合金，超高灵敏度的前端电路和*算法，保证在工作压力下有很高的灵敏度和测量精度，响应迅速，性能稳定，抗腐蚀性强，提供150℃至200℃两个高温版本极大的改善了沉积物质对电容膜片的影响，提供1Torr至1000Torr满刻度范围，具有优秀的性能，适用于苛刻的半导体、等离子和高危材料纯化等领域，是精确总压测量与控制的理想之选。

优点

1.高温型金属薄膜差分电容绝压传感器

l高度灵敏

l高精度和重复性

l长期稳定性高

2.传感器全部为坚固且耐腐蚀Inconel合金

l不依赖气体，测量结果与气体成分无关

l允许与腐蚀性或肮脏气体一起使用

l真空计材料对过程无污染

3.输出信号丰富

l易于集成，接口丰富，满足各种系统集成需求

l独立的Type C 诊断、调试、配置接口

4.故障输出功能/压力触发输出功能

l通过继电器输出：恒温故障和设备故障/压力触发信号

域势科技电容金属薄膜真空计（高温型）

技术参数

指标	规格参数
满刻度量程	1Torr，10Torr，100Torr，1000Torr，定制
精度	±0.5%的读数
分辨率	0.001%FS
建议读数范围	0.005V to 10V@FS
建议控制压力范围	0.05V to 10V@FS
设备内部温度选项	150℃，200℃
预热时间	4小时
环境温度	15至50℃
触发功能	可选，两路单刀双置开关，分布可以设置0.1%~100%FS任意压力，继电器容量0.6A@30VDC
故障输出功能	可选，通过继电器输出恒温故障和设备故障
输出	0-10VDC模拟输出，＞10K欧姆；RS422输出（RS485可选）
电气连接器	D-Sub，15脚，针型插座；M8航插，5脚，孔型插座
输入电源	±15VDC（±5%）、24VDC（±5%）或 20~26VDC;峰值50W@150℃，70W@200℃
超压限制	45Psia
暴露于工艺气体的材料	进样管为316L材料，其余均为Inconel和Incoloy合金
传感器响应时间	50毫秒
校准方向	默认垂直校准，水平校准可选
内部体积	5.1ml（不包含进样接口）

杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。