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产品中心YUSEETECH自营品牌域势真空计加热型域势科技电容金属薄膜真空计
产品简介
域势科技电容金属薄膜真空计（加热型）采用单侧双电极差分电容设计，暴露于工艺气体的材料全部为Inconel/Incoloy合金。
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产品分类| 品牌 | 域势科技 | 量程 | 0.1333至1333mbar |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 1万-2万 | 产地类别 | 国产 |
| 应用领域 | 电子/电池,汽车及零部件 |
域势科技电容金属薄膜真空计（加热型）
加热型电容金属薄膜真空计采用单侧双电极差分电容设计，暴露于工艺气体的材料全部为Inconel/Incoloy合金，超高灵敏度的前端电路和*算法，保证在工作压力下有很高的灵敏度和测量精度，响应迅速，性能稳定，抗腐蚀性强，提供从45℃至120℃多个恒温版本，0.1Torr至1000Torr全系列满刻度范围，具有优秀的性能，适用于苛刻的半导体和等离子、高危材料纯化等精确总压测量与控制的理想之选。
DMG100系列压力传感器具有恒温故障和设备故障继电器输出功能。
优点
1.恒温型金属薄膜差分电容绝压传感器
l高灵敏度
l高精度和重复性
l长期稳定性高
2.传感器全部为坚固且耐腐蚀Inconel合金
l不依赖气体，测量结果与气体成分无关
l允许与腐蚀性或肮脏气体一起使用
l真空计材料对过程无污染
3. 输出信号丰富
l易于集成，接口丰富，满足各种系统集成需求
l独立的Type C 诊断、调试、配置接口
4.故障输出功能/压力触发输出功能
l通过继电器输出：恒温故障和设备故障/压力触发信号
域势科技电容金属薄膜真空计（加热型）
技术参数
指标 | 规格参数 |
满刻度量程 | 0.1Torr，1Torr，10Torr，100Torr，1000Torr |
精度 | ≥1Torr±0.25%的读数，＜1Torr±0.50%的读数 |
分辨率 | 0.001%FS |
建议读数范围 | 0.005V to 10V@FS |
建议控制压力范围 | 0.05V to 10V@FS |
设备内部温度选项 | 45℃，80℃，100℃ |
预热时间 | 2小时≥1Torr；4小时＜1Torr |
环境温度 | 15至40℃@45℃内部恒温 |
触发功能 | 可选，两路单刀双置开关，分布可以设置0.1%~100%FS任意压力，继电器容量0.6A@30VDC |
故障输出功能 | 可选，通过继电器输出恒温故障和设备故障 |
输出 | 0-10VDC模拟输出，＞10K欧姆；RS422输出（RS485可选） |
电气连接器 | D-Sub，15脚，针型插座；M8航插，5脚，孔型插座 |
输入电源 | ±15VDC（±5%）、24VDC（±5%）或 20~26VDC;峰值40W@100℃，35W@45℃ |
超压限制 | 45Psia |
暴露于工艺气体的材料 | 进样管为316L材料，其余均为Inconel和Incoloy合金 |
传感器响应时间 | ≥1Torr 25毫秒；＜1Torr 50毫秒 |
校准方向 | 默认垂直校准，水平校准可选 |
内部体积 | 5.1ml（不包含进样接口） |
杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
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