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产品中心INFICON英福康Transpector® APX ALDINFICON英福康单压力残余气体分析仪
产品简介
INFICON英福康单压力残余气体分析仪（Transpector® APX ALD）是用于半导体和显示器制造过程监控市场优秀的残余气体分析仪 (RGA)。
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产品分类| 品牌 | INFICON/美国 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 能源,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件 |
INFICON英福康单压力残余气体分析仪（Transpector® APX ALD）
实时减少废品，提高产量
INFICON Transpector APX是用于半导体和显示器制造过程监控市场优秀的残余气体分析仪 (RGA)。INFICON 深知半导体和显示器客户有着独特的需求，Transpector APX 的新的修订版在保持行业优秀的测量速度和灵敏度的同时，提供了更大的灵活性以满足特定的应用要求。Transpector APX是用于 ALD、CVD、PVD 和蚀刻等半导体工艺的理想 RGA 过程监控器。
下一代 Transpector APX ALD 单压入口系统设计用于在 ALD 或 PECVD 等容易产生颗粒或涂层的制程化学中生存。这允许在所有关键工艺步骤中进行连续监测，以捕获数据点。此外，入口温度可控，可抵御腐蚀性气体，这对于腔室清洁终点监测应用至关重要。
优势
l 针对特定应用的平台设计，为您的ALD或CVD工艺提供最长的使用寿命，实现很好的晶圆和面板保护以及工艺优化
l ALD准备就绪，测量速度超过每秒550个数据点
l 由于采用高性能泵系统，工厂占地面积减少 30%，安装更加简便
l 温控入口采用 INFICON 涂层，用于离散压力入口，可承受苛刻的腐蚀性化学物质
l 自动校准确保传感器与传感器、工具与工具腔室匹配的长期数据可靠性和准确性
l Transpector APX 与 FabGuard® 软件集成后成为强大的过程监控和诊断工具，并由 INFICON 应用专家提供支持
INFICON英福康单压力残余气体分析仪（Transpector® APX ALD）
技术参数
型号 | 100AMU | 200AMU | 300AMU |
总压力范围 | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
检测限 | <10 ppb | <25 ppb | <50 ppb |
工艺压力范围 | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
灵敏度（低排放） | >4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar | >2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar | >1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar |
灵敏度（高排放） | >2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar | >1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar | >5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar |
杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
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