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产品中心INFICON英福康HCDINFICON英福康烃类检测器
产品简介
INFICON英福康烃类检测器（HCD）是专注于工业真空/半真空在线连续监测的固定式设备，和便携检漏仪的定位与应用场景差异明显。
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产品分类| 品牌 | INFICON/美国 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,石油,电子/电池 |
INFICON英福康烃类检测器（HCD）
核心原理与特点
l 检测原理：采用 ** 紫外光电离（UV PID，10/10.6 eV 辉光放电）** 技术，宽带非选择性检测，可同时响应绝大多数烃类、硅氧烷（硅油），无需复杂预浓缩；无泵设计，维护量极低，适配恶劣工艺环境。
l 实时监控：数据响应迅速，支持 4-20 mA、0-10 V 模拟信号与 Modbus TCP 数字通讯，可无缝接入 INFICON FabGuard® 制程监控软件，实现趋势分析、报警联锁。
l 安装与体积：标准 KF25（FK25）法兰安装，快速部署，占用空间小；工作压力覆盖 1 Torr～1 atm，工作温度 -25℃～180℃，高灵敏度（高发射模式达2E-5 A/Torr），检出限可达ppb级（随工作压力变化）。
典型应用场景
l 半导体/显示：光刻胶蒸气、真空泵油反扩散、腔室污染预警；
l 光伏：CVD 制程尾气、腔体泄漏检测；
l 制药：冷冻干燥（冻干）设备的油蒸气污染控制；
l 真空镀膜：工艺气氛中残留有机物监测。
优势
l 实时监控
l 定制化传感器操作控制与数据分析
l 通过数据采集实现无缝工具集成与可靠拦截
l 快速简便的传感器安装，最小化工具占用空间
l 低总拥有成本，高投资回报率
INFICON英福康烃类检测器（HCD）
技术参数
参数 | 数值 |
工作压力 | 1 Torr～1 atm |
工作温度 | -25°C 至 180°C |
灵敏度（高发射） | >2E-5 A/Torr |
接口法兰 | 标准 KF25（可定制） |
通讯 / 输出 | 4–20 mA、0–10 V、Modbus TCP |
检测对象 | 烃类（VOCs）、硅油 / 硅氧烷 |
杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
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